Proflim 3D是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀，采用相位掃描干涉技術(shù)（PSI）對(duì)納米級(jí)特征進(jìn)行測(cè)量，以及采用垂直掃描干涉技術(shù)（VSI）對(duì)亞微米至毫米級(jí)特征進(jìn)行測(cè)量。 Proflim 3D的程序設(shè)置簡(jiǎn)單靈活，可以進(jìn)行單次掃描或多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量，適用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。

※ 從納米級(jí)到毫米級(jí)的3D臺(tái)階高度 ※ 3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀，紋理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面進(jìn)行高分辨率掃描 ※ 高粗糙度，低反射率，劃痕表征

采集方式 相移 波長(zhǎng) 3.39um 10.6um 精確度 0.01λ 分辨率 640*512 口徑 75-200mm

采集方式 相移 波長(zhǎng) 3.39um 10.6um 精確度 0.01λ 分辨率 640*512 口徑 75-200mm

采集方式 相移 波長(zhǎng) 3.39um 10.6um 精確度 0.01λ 分辨率 640*512 口徑 75-200mm

采集方式 相移 波長(zhǎng) 3.39um 10.6um 精確度 0.01λ 分辨率 640*512 口徑 75-200mm

滿足計(jì)量檢測(cè)用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；雙頻激光干涉儀

專為光刻機(jī)配套開(kāi)發(fā)的高精度測(cè)量系統(tǒng)；雙頻激光干涉儀，進(jìn)口設(shè)備轉(zhuǎn)國(guó)產(chǎn)化的優(yōu)選產(chǎn)品