一.真空泵熱過(guò)載保護(hù)，請(qǐng)檢查線路和真空泵故障

1.出現(xiàn)此情況請(qǐng)首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無(wú)變化，設(shè)備突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類報(bào)警。

2.如系統(tǒng)參數(shù)無(wú)變化，請(qǐng)確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒(méi)有自動(dòng)保護(hù)，請(qǐng)檢查電氣線路有無(wú)短路或斷路情況。

3.檢查電氣線路有無(wú)短路或斷路情況。

4.如無(wú)上述異常，請(qǐng)檢查真空泵。

二.放空氣體壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡

1.如出現(xiàn)此類報(bào)警請(qǐng)檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無(wú)短路或斷路。

三.真空泵故障（機(jī)械故障），請(qǐng)檢查真空泵抽空能力，故障排除點(diǎn)擊復(fù)位鍵

1.所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲水情況，真空時(shí)間設(shè)備較短，無(wú)法在設(shè)備時(shí)間內(nèi)抽到背底真空。

2.檢查真空門(mén)是否關(guān)到位。

3.逐級(jí)檢查真空系統(tǒng)中各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞。

4.真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵。

四.真空故障報(bào)警，真空計(jì)故障或損壞，請(qǐng)檢查并更換真空計(jì)

1.檢查真空計(jì)是否損壞，檢查真空計(jì)控制線路是否有短路或斷路。

五.急停未復(fù)位或已按下，請(qǐng)打開(kāi)急停開(kāi)關(guān)

1.檢查急停是否被按下，如沒(méi)有此情況，請(qǐng)檢查急停線路。

六.CDA壓力過(guò)低報(bào)警（破空氣體壓力低）

1.此報(bào)警為壓縮空氣氣壓不足夠報(bào)警，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動(dòng)擋板閥（GDQ）的設(shè)備，出現(xiàn)此報(bào)警時(shí)需檢查CDA是否正常供氣至設(shè)備端。

2.確認(rèn)供氣壓力是否過(guò)高或過(guò)低，減壓表的報(bào)警值是否設(shè)定正確。

3.檢查電氣線路是否出現(xiàn)短路或斷路。

上述為常見(jiàn)等離子清洗機(jī)故障以及報(bào)警方法