在近代物理學中，等離子體為一種較為普通的概念，為在一定程度上被電離（電離度比0.1%要大）的一種氣體，其中陽離子與電子的濃度處于平衡狀態(tài)，從宏觀上來講，是一種呈電中性的物質(zhì)。利用電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，通過處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線分析待測元素的儀器，被稱為電感耦合等離子發(fā)射光譜儀。

變化

隨著等離子體溫度的升高，當溫度超過10攝氏度，會慢慢剝落原子的外層電子，使各種離子態(tài)的離子形成。此類高次電離的離子的線狀譜的波段大多數(shù)處于遠紫外波段。連續(xù)譜的情形，連續(xù)譜的發(fā)射強度的極大值移向短波，氫及其同位素氘和氚一般為如聚變高溫等離子體的高溫等離子體的工作物質(zhì)，然而混雜一些如C、O、Fe、Ti、Mo、W等元素的雜質(zhì)無可避免，當溫度比10攝氏度要高時，此類雜質(zhì)離子的光譜大多數(shù)處于X射線與真空紫外波段。對此類較重雜質(zhì)的高次電離譜線的出現(xiàn)時間和位置進行分析，對它們的強度進行比較，對于研究這樣高的溫度的等離子體的參量測量、輸運過程和等離子體的輻射損失等的重要性不言而喻。特別是更加有助于分析類氫、類氦離子的譜線強度，由于有著比較完備的此類離子的原子數(shù)據(jù)。

波長校準： C、N和Ar線自動波長校準程序被采用，使長期波長穩(wěn)定性得到確保。

光室恒溫： 38±0.1攝氏度，精密光室恒溫，恒溫速度比20分鐘要小。

光路設計：外光路設計，對于垂直炬，觀測高度能夠被選擇，對于雙向炬，觀測方式能夠被選擇。

分辨率：0.007納米在200納米處的光學分辨率，大衍射角高的光譜級次被采用，高分辨率在短焦距下能夠獲得。

光路： 驅(qū)氣型光室，能夠是氬氣或者氮氣，驅(qū)氣量0-2L/分鐘，典型1L/分鐘，就能夠使優(yōu)異的紫外性能獲得，尤其是測定As和P。