氦質(zhì)譜檢漏儀在使用前需要校準。氦質(zhì)譜檢漏儀的校準的主要項目包括:噪音、Z小可檢漏率、漏率值校準、清除時間等，其中Z重要的項目是漏率值的校準。漏率值校準通常是在氦質(zhì)譜檢漏儀使用前用標準漏孔進行校準。

氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)要求

　　1、氦質(zhì)譜檢漏儀在下列條件下應(yīng)能正常工作

　?、侪h(huán)境溫度：5-35℃;

　?、谙鄬穸龋翰淮笥?0%;

　?、酃╇婋娫矗?80±38V;220±22V;50±0.5Hz;

　?、艽髿鈮毫Γ?00±5kPa;

　?、輧x器附近無強的電磁場干擾，無劇烈震動，無腐蝕性氣體。

　　2、外觀質(zhì)量

　?、賰x器涂層應(yīng)色澤均勻，外表不得有明顯的損傷和銹蝕。

　　②儀器上的開關(guān)、旋鈕和調(diào)節(jié)機構(gòu)應(yīng)安裝牢固，轉(zhuǎn)動靈活。

　　3、安全要求

　?、俳^緣電阻：在正常工作條件下，儀器的電源線和機殼之間的絕緣電阻應(yīng)大于5MΩ。

　?、诮^緣強度：儀器的電源線和機殼之間應(yīng)能承受1000V、50H交流電壓，歷時1min而無擊穿及飛弧現(xiàn)象。

　?、蹆x器的泄漏電流不大于3.5mA。

　　4、儀器的錯、缺相保護功能

　　使用三相電源的氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)當有錯、缺相保護措施。

　　5、儀器漏率顯示系統(tǒng)誤差

　　氦質(zhì)譜檢漏儀離子流放大器及顯示系統(tǒng)的誤差應(yīng)不超過±5%。

　　6、儀器漏率音響報警功能

　　氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)當設(shè)有被檢工件漏率音響報警裝置。

　　7、儀器入口處壓力測量和控制電路

　　帶有粗抽泵的氦質(zhì)譜檢漏儀，在檢漏口應(yīng)當有壓力指示儀表，并應(yīng)具有在制造廠規(guī)定的壓力范圍內(nèi)從粗抽自動(或手動)切換到檢漏的功能。

　　8、儀器質(zhì)譜室燈絲保護功能

　　氦質(zhì)譜檢漏儀中和質(zhì)譜室相連的高真空抽氣系統(tǒng)應(yīng)當有壓力指示儀表與質(zhì)譜室燈絲保護電路，其動作范圍應(yīng)符合制造廠的規(guī)定。

　　9、達到Z佳工作壓力的時間

　　使用油擴散泵的氦質(zhì)譜檢漏儀，其高真空系統(tǒng)開機后壓力達到制造廠規(guī)定的Z佳工作壓力的時間。

　?、偌右旱膬x器應(yīng)不大于0.5h。

　　②不加液氮的儀器應(yīng)不大于2h

　　10、儀器的Z小可檢漏率

　　用常規(guī)檢漏方式的氦質(zhì)譜檢漏儀在全抽速，儀器的Z小可檢漏率應(yīng)不大于2×10-11Pa·m3·s-1;用逆擴散檢漏方式的氦質(zhì)譜檢漏儀，儀器的Z小可檢漏率應(yīng)不大于2×10-10Pa·m3·s-1。

　　11、儀器的時間常數(shù)

　　氦質(zhì)譜檢漏儀的清除時間或響應(yīng)時間應(yīng)不大于3s.

　　12、儀器的自身漏隙

　　氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空系統(tǒng)，不應(yīng)有對自身噴氦就可以檢出漏隙存在。

氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法

　　1、標準漏孔校準氦質(zhì)譜檢漏儀方法

　　采用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準，將一系列經(jīng)過校準的不同量級標準漏孔分別接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，實驗室溫度保持在23±1℃，可以讀出一組標準漏孔漏率的檢漏儀示值，從而得到標準漏孔漏率值與檢漏儀示值的關(guān)系曲線，并通過對這條曲線進行數(shù)學擬合，得到氦質(zhì)譜檢漏儀全量程測量范圍示值與漏率值之間的擬合公式。

　　2、校準儀器的選擇

　　為了滿足氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)場校準，便于攜帶，真空標準漏孔選用薄膜滲氦型標準漏孔。薄膜滲氦型標準漏孔具有對污染不敏感;漏率可以做得很小;重復(fù)性、穩(wěn)定性等計量特性好;對溫度變化敏感，使用需要對漏率溫度修正等特點。

　　3、校準步驟

　　設(shè)置環(huán)境溫度為23.0℃，將標準漏孔通過漏孔隔離閥與氦質(zhì)譜檢漏儀相連接，打開漏孔閥，打開檢漏儀進行平衡，平衡6h后，開始測量標準漏孔在檢漏儀的讀數(shù)示值，每個10min記錄一個數(shù)值及此時環(huán)境溫度，共記錄6組數(shù)據(jù)，對六組漏率示值數(shù)據(jù)進行溫度修正，測量重復(fù)性用相對實驗標準偏差表示。