用于分析材料微區(qū)成分元素種類(lèi)與含量，對(duì)掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用加以配合的儀器，稱(chēng)為x射線能譜儀。

評(píng)價(jià)指標(biāo)

靈敏度和能量分辨率為評(píng)價(jià)一臺(tái)電子能譜儀的主要指標(biāo)。對(duì)于這兩個(gè)主要指標(biāo)的提高，科學(xué)家們正在不斷努力。

樣品,激發(fā)源,激發(fā)面積,能量分析器,入口或出口狹縫,電子探測(cè)器,放大器等多種因素會(huì)對(duì)儀器的靈敏度產(chǎn)生影響。為了對(duì)儀器的靈敏度進(jìn)行考察

儀器的靈敏度與多種因素有關(guān),即:樣品,激發(fā)源,激發(fā)面積,能量分析器,入口或出口狹縫,電子探測(cè)器,放大器等因素有關(guān)。為了考察儀器的靈敏度,儀器的整體靈敏度通常采用Ag3d5/2來(lái)進(jìn)行表示。x射線的線寬、儀器的展寬、樣品基體以及樣品中被激發(fā)的能級(jí)的線寬均與能量分辨有所冠梁，zui終譜的寬度應(yīng)當(dāng)是多種因素卷積的綜合結(jié)果。一臺(tái)電子能譜儀的靈敏度與能量分辨率是相互牽制的,也就是說(shuō)如果要對(duì)儀器靈敏度加以提高就需對(duì)儀器的分辨率加以犧牲。對(duì)于雙陽(yáng)極的Ag3d5/2的zui高計(jì)數(shù)率，比7Mcps@leV要大。1Mcp@0.6eV為AlK α單色器zui高Ag3d5/2的zui高計(jì)數(shù)率。單色化ⅹPS的zui佳能量分辨率能夠達(dá)到0.5ev,相比于傳統(tǒng)的雙陽(yáng)極XPS要高。為了對(duì)儀器分荷電中和系統(tǒng)進(jìn)行考察，一般對(duì)PET材料的羰基(O-C=O)峰的強(qiáng)度和半高寬(FWHM),進(jìn)行測(cè)定，到目前為止，半高寬能夠達(dá)到0.8eV@6 Okcps。對(duì)一臺(tái)電子能譜儀的質(zhì)量進(jìn)行考察為一項(xiàng)非常復(fù)雜的工作,可靠性、精度、離子刻蝕、穩(wěn)定性、功能擴(kuò)展性、荷電中和、數(shù)據(jù)系統(tǒng)、制樣、以及儀器的操作使用和維護(hù)(如真空維護(hù))均需要考察。