激光器是激光設(shè)備的心臟,對激光切割質(zhì)量起著決定性的作用。一個好的激光器,應(yīng)該具備理想的模式,穩(wěn)定的功率等要素。激光器的種類是很多的,一般從激光工作物質(zhì)、激勵方式、運(yùn)轉(zhuǎn)方式、輸出波長范圍等幾個方面分類。
根據(jù)工作物質(zhì)物態(tài)的不同可把所有的激光器分為以下幾大類:
?、俟腆w(晶體和玻璃)激光器,這類激光器所采用的工作物質(zhì),是通過把能夠產(chǎn)生受激輻射作用的金屬離子摻入晶體或玻璃基質(zhì)中構(gòu)成發(fā)光ZX而制成的;
?、跉怏w激光器,它們所采用的工作物質(zhì)是氣體,并且根據(jù)氣體中真正產(chǎn)生受激發(fā)射作用之工作粒子性質(zhì)的不同,而進(jìn)一步區(qū)分為原子氣體激光器、離子氣體激光器、分子氣體激光器、準(zhǔn)分子氣體激光器等;
?、垡后w激光器,這類激光器所采用的工作物質(zhì)主要包括兩類,一類是有機(jī)熒光染料溶液,另一類是含有稀土金屬離子的無機(jī)化合物溶液,其中金屬離子(如Nd)起工作粒子作用,而無機(jī)化合物液體(如SeOCl)則起基質(zhì)的作用;
④半導(dǎo)體激光器,這類激光器是以一定的半導(dǎo)體材料作工作物質(zhì)而產(chǎn)生受激發(fā)射作用,其原理是通過一定的激勵方式(電注入、光泵或高能電子束注入),在半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶之間或能帶與雜質(zhì)能級之間,通過激發(fā)非平衡載流子而實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生光的受激發(fā)射作用;
?、葑杂呻娮蛹す馄?,這是一種特殊類型的新型激光器,工作物質(zhì)為在空間周期變化磁場中高速運(yùn)動的定向自由電子束,只要改變自由電子束的速度就可產(chǎn)生可調(diào)諧的相干電磁輻射,原則上其相干輻射譜可從X射線波段過渡到微波區(qū)域,因此具有很誘人的前景。

?、俟獗檬郊す馄?。指以光泵方式激勵的激光器,包括幾乎是全部的固體激光器和液體激光器,以及少數(shù)氣體激光器和半導(dǎo)體激光器。
②電激勵式激光器。大部分氣體激光器均是采用氣體放電(直流放電、交流放電、脈沖放電、電子束注入)方式進(jìn)行激勵,而一般常見的半導(dǎo)體激光器多是采用結(jié)電流注入方式進(jìn)行激勵,某些半導(dǎo)體激光器亦可采用高能電子束注入方式激勵。
?、刍瘜W(xué)激光器。這是專門指利用化學(xué)反應(yīng)釋放的能量對工作物質(zhì)進(jìn)行激勵的激光器,反希望產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)可分別采用光照引發(fā)、放電引發(fā)、化學(xué)引發(fā)。
?、芎吮闷旨す馄?。指專門利用小型核裂變反應(yīng)所釋放出的能量來激勵工作物質(zhì)的一類特種激光器,如核泵浦氦氬激光器等。
由于激光器所采用的工作物質(zhì)、激勵方式以及應(yīng)用目的的不同,其運(yùn)轉(zhuǎn)方式和工作狀態(tài)亦相應(yīng)有所不同,從而可區(qū)分為以下幾種主要的類型。
?、龠B續(xù)激光器,其工作特點(diǎn)是工作物質(zhì)的激勵和相應(yīng)的激光輸出,可以在一段較長的時間范圍內(nèi)以連續(xù)方式持續(xù)進(jìn)行,以連續(xù)光源激勵的固體激光器和以連續(xù)電激勵方式工作的氣體激光器及半導(dǎo)體激光器,均屬此類。由于連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中往往不可避免地產(chǎn)生器件的過熱效應(yīng),因此多數(shù)需采取適當(dāng)?shù)睦鋮s措施。
?、趩未蚊}沖激光器,對這類激光器而言,工作物質(zhì)的激勵和相應(yīng)的激光發(fā)射,從時間上來說均是一個單次脈沖過程,一般的固體激光器、液體激光器以及某些特殊的氣體激光器,均采用此方式運(yùn)轉(zhuǎn),此時器件的熱效應(yīng)可以忽略,故可以不采取特殊的冷卻措施。
?、壑貜?fù)脈沖激光器,這類器件的特點(diǎn)是其輸出為一系列的重復(fù)激光脈沖,為此,器件可相應(yīng)以重復(fù)脈沖的方式激勵,或以連續(xù)方式進(jìn)行激勵但以一定方式調(diào)制激光振蕩過程,以獲得重復(fù)脈沖激光輸出,通常亦要求對器件采取有效的冷卻措施。
?、苷{(diào)制激光器,這是專門指采用一定的開關(guān)技術(shù)以獲得較高輸出功率的脈沖激光器,其工作原理是在工作物質(zhì)的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)形成后并不使其產(chǎn)生激光振蕩(開關(guān)處于關(guān)閉狀態(tài)),待粒子數(shù)積累到足夠高的程度后,突然瞬時打開開關(guān),從而可在較短的時間內(nèi)形成十分強(qiáng)的激光振蕩和高功率脈沖激光輸出。
?、萱i模激光器,這是一類采用鎖模技術(shù)的特殊類型激光器,其工作特點(diǎn)是由共振腔內(nèi)不同縱向模式之間有確定的相位關(guān)系,因此可獲得一系列在時間上來看是等間隔的激光超短脈沖序列,若進(jìn)一步采用特殊的快速光開關(guān)技術(shù),還可以從上述脈沖序列中選擇出單一的超短激光脈沖。
?、迒文:头€(wěn)頻激光器,單模激光器是指在采用一定的限模技術(shù)后處于單橫?;騿慰v模狀態(tài)運(yùn)轉(zhuǎn)的激光器,穩(wěn)頻激光器是指采用一定的自動控制措施使激光器輸出波長或頻率穩(wěn)定在一定精度范圍內(nèi)的特殊激光器件,在某些情況下,還可以制成既是單模運(yùn)轉(zhuǎn)又具有頻率自動穩(wěn)定控制能力的特種激光器件。
?、呖烧{(diào)諧激光器,在一般情況下,激光器的輸出波長是固定不變的,但采用特殊的調(diào)諧技術(shù)后,使得某些激光器的輸出激光波長,可在一定的范圍內(nèi)連續(xù)可控地發(fā)生變化,這一類激光器稱為可調(diào)諧激光器。

根據(jù)輸出激光波長范圍之不同,可將各類激光器區(qū)分為以下幾種。
①遠(yuǎn)紅外激光器,輸出波長范圍處于25~1000微米之間,某些分子氣體激光器以及自由電子激光器的激光輸出即落入這一區(qū)域。
?、谥屑t外激光器,指輸出激光波長處于中紅外區(qū)(2.5~25微米)的激光器件,代表者為CO2分子氣體激光器(10.6微米)、CO2分子氣體激光器(5~6微米)。
?、劢t外激光器,指輸出激光波長處于近紅外區(qū)(0.75~2.5微米)的激光器件,代表者為摻釹固體激光器(1.06微米)、CaAs半導(dǎo)體二極管激光器(約0.8微米)和某些氣體激光器等。
?、芸梢娂す馄?,指輸出激光波長處于可見光譜區(qū)(4000~7000埃或0.4~0.7微米)的一類激光器件,代表者為紅寶石激光器(6943埃)、氦氖激光器(6328埃)、氬離子激光器(4880埃、5145埃)、氪離子激光器(4762埃、5208埃、5682埃、6471埃)以及一些可調(diào)諧染料激光器等。
?、萁贤饧す馄?,其輸出激光波長范圍處于近紫外光譜區(qū)(2000~4000埃),代表者為氮分子激光器(3371埃)、氟化氙(XeF)準(zhǔn)分子激光器(3511埃、3531埃)、氟化氪(KrF)準(zhǔn)分子激光器(2490埃)以及某些可調(diào)諧染料激光器等。
?、拚婵兆贤饧す馄鳎漭敵黾す獠ㄩL范圍處于真空紫外光譜區(qū)(50~2000埃)代表者為(H)分子激光器(1644~1098埃)、氙(Xe)準(zhǔn)分子激光器(1730埃)等。
⑦X射線激光器,指輸出波長處于X射線譜區(qū)(0.01~50埃)的激光器系統(tǒng),目前軟X射線已研制成功,但仍處于探索階段。
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