用于分析材料微區(qū)成分元素種類與含量，對掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用加以配合的儀器，稱為x射線能譜儀。

在國外六十年代初期銼漂移硅核輻射探測器這一種新型核輻射探測器被發(fā)展了起來，在七十年代初由于其具有較高的探測效率以及較好的能量分辨率，在ⅹ射線能譜儀上受到廣泛的應(yīng)用。到目前為止，硅(鋰)譜儀的能量分辨率已經(jīng)達到110電子伏。這幾十年以來，ⅹ射線能譜儀被裝配于透射電子顯微鏡、電子探針儀以及掃描電子顯微鏡(包括大型、小型)等上已經(jīng)變得越來越普遍。，其在冶金學(xué)、地質(zhì)學(xué)、物理學(xué)、動物學(xué)、醫(yī)藥學(xué)、環(huán)保學(xué)等若千科學(xué)領(lǐng)域受到了非常廣泛的應(yīng)用。半導(dǎo)體材料、電子封裝材料、催化劑、策合物、建材、肉瓷、生物材料等均為其所要分析的對象。其成為了七十年代zui有用途的科學(xué)研究儀器之一。

發(fā)展階段：

它的發(fā)展經(jīng)過了三個階段

早期：

在1978年以前,X射線能譜儀還處于初級階段,，因為受到技術(shù)條件的限制，僅能夠進行定性或半定量分析。

中期:

1978年至1984年前后,隨著探測器和計算機技術(shù)的發(fā)展,不但能夠進行定性分析，而且還能夠進行無標(biāo)樣定量分析，能譜儀在這一時期的應(yīng)用變得越來越廣泛。

近期:

由1984年到現(xiàn)在，X射線能譜儀的發(fā)展到了一個全新的階段。定量分析能夠使用較為復(fù)雜的方法。能夠分析和處理來自能譜儀和電鏡的圖像。因為計算機的功能非常強大，加工數(shù)據(jù)，分析結(jié)果能夠得到更好的顯示。

應(yīng)用：

鑒定化合物結(jié)構(gòu)

對于精確測量內(nèi)殼層電子結(jié)合能化學(xué)位移，化學(xué)鍵和電荷分布方面的信息可以由ⅹ射線光電子能譜法所提供。電子線峰位會隨著化學(xué)結(jié)構(gòu)的變化和化合物氧化狀態(tài)的變化有規(guī)律的移動。基于此，能夠?qū)τ袡C物、無機物的結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成加以分析。