利用X射線在晶體物質(zhì)中的衍射效應(yīng)來分析物質(zhì)結(jié)構(gòu)的技術(shù)，叫做X射線衍射相分析（phase analysis of xray diffraction）。每一種結(jié)晶物質(zhì)都有包括點(diǎn)陣類型、晶面間距等參數(shù)的晶體結(jié)構(gòu)，是其特定的。用具有足夠能量的x射線對試樣進(jìn)行照射，激發(fā)試樣中的物質(zhì)，會使得二次熒光X射線（標(biāo)識X射線）產(chǎn)生。布拉格定律為晶體的晶面反射所遵循。通過對衍射角位置（峰位）的測定能夠進(jìn)行化合物的定性分析，通過對譜線的積分強(qiáng)度（峰強(qiáng)度）的測定能夠進(jìn)行定量分析，而且對譜線強(qiáng)度的測定，隨著角度的變化關(guān)系能夠檢測晶粒的大小和形狀。

發(fā)展方向

X射線分析的新發(fā)展方向，因?yàn)椴粩嗥占暗脑O(shè)備以及技術(shù)，金屬X射線分析以及慢慢變成了測試有機(jī)材料和納米材料以及研究金屬的比較常規(guī)的方法，并且還是用在動(dòng)態(tài)測量上。早期一般使用照相法，照相法會消耗比較長的時(shí)間，對于測量長度來說，也不具備很高的精確度。在50年代初，計(jì)數(shù)器衍射儀法問世，它的優(yōu)點(diǎn)是能夠配備計(jì)算機(jī)控制，強(qiáng)度測量有較高的精確度以及速度較快等，應(yīng)用非常的廣泛。然而在微量樣品和探索未知新相的分析中，使用單色器的照相法依然有其獨(dú)有的特色。

從70年代以來，金屬X射線因?yàn)槌霈F(xiàn)的高靈敏度探測器以及包括高壓脈沖X射線源，電子同步加速輻射以及超高強(qiáng)度的旋轉(zhuǎn)陽極X射線發(fā)生器在內(nèi)的高強(qiáng)度X射線源，從而使新的推動(dòng)力獲得。這些新的技術(shù)相結(jié)合，除了能夠使分析速度大大的加快，使精度得以提高，而且能夠進(jìn)行對更為微弱或精細(xì)效應(yīng)的研究以及瞬時(shí)的動(dòng)態(tài)觀察。