干涉顯微鏡是干涉儀和顯微鏡的組合，將被測件和標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)鏡面相比較，用光波波長作為尺子來衡量工作表面的的不平深度。由于光潔度是微觀不平深度，所以用顯微物鏡進(jìn)行高倍后再進(jìn)行觀察和測量。

干涉顯微鏡的工作原理

　　干涉顯微鏡的工作原理如下圖，干涉顯微鏡為了獲得干涉，必須使光源S發(fā)出的光束，經(jīng)分光板T后分為兩束。一束透過分光板T、補償板T1、顯微物鏡O2后射向被測工件P2的表面。由P2反射后經(jīng)原路返回至分光板T，再在上反射，射向觀察物鏡O3。另一束由分光板反射后通過物鏡O1射到標(biāo)準(zhǔn)鏡P1，經(jīng)過P1反射，再經(jīng)過物鏡O1并透過分光板T，也射向觀察目鏡O3，它與diyi束光線相遇，產(chǎn)生干涉，通過目鏡O3可以看到定位在工件表面的干涉條紋。

　　干涉顯微鏡的分光板T，補償板T1，物鏡O1、O2以及標(biāo)準(zhǔn)鏡P1等要經(jīng)過精密加工，如果被測工件表面也是同樣精密，那么就可以得到?jīng)]有曲折的直接干涉條紋。

　　調(diào)節(jié)P1、P2至物鏡O1、O2的距離，使目鏡視場中能清晰地看到P1和P2表面的象，同時物鏡O1、O2離分光板分光點的光學(xué)距離相等時，說明干涉儀的二臂之長相等，視場中出現(xiàn)零次干涉條紋，再其次，對稱分布著數(shù)條彩色條紋。

　　使P2作高低方向微量移動時，干涉顯微鏡視場中干涉條紋也作相應(yīng)的位移。P2的移動兩于視場中干涉條紋的移動量ΔN有確定的關(guān)系，t等于λ/2，視場中干涉條紋移動一個條文間隔即原來零次條紋移到1次條紋的位置，原來1紋移到2次條紋的位置……

　　如果上有一凹穴或凸緣，其凹(凸)的深度為，那么在視場中此凹(凸)部分成像處的干涉條紋，也相應(yīng)彎曲，彎曲量ΔN(單位為條紋間隔數(shù)量，幾個條紋或幾分之一個條紋間隔)，t也ΔN與上述一樣有確定的關(guān)系，即t=(λ/2)ΔN2，因此測量時與干涉條紋的視見寬度無關(guān)。干涉顯微鏡就是用測量視場中干涉條紋的彎曲量，反過來推算出零件表面的不平深度。

　　干涉顯微鏡上的干涉濾色片，使白光過濾后，只有半寬度很小的這部分單色光通過干涉顯微鏡，這種單色光有較好的相干性，因此在使用時為尋找干涉條紋提供了放便，同時，這種單色光有確定的波長值，因而能提高測量精度。

干涉顯微鏡的特點

　　干涉顯微鏡是金相檢驗的一種強有力的工具，其特點主要為:

　　1、對樣品的制備要求降低，對于某些樣品，甚至只需拋光而不必腐蝕處理即可進(jìn)行觀察。優(yōu)點是干涉顯微鏡可以觀察到樣品表面的真實狀態(tài)，如將試樣拋光后在真空下發(fā)生馬氏體相變，不用腐蝕就可以觀察到馬氏體的相變浮凸。

　　2、干涉顯微鏡所觀察到的表面具有明顯的凹凸感，呈浮雕狀，樣品各組成相間的相對層次關(guān)系都能顯示出來，對顆粒、裂紋、孔洞以及凸起等都能作出正確的判斷，提高了金相檢驗準(zhǔn)確性，同時也增加了各相間的反差。

　　3、用干涉顯微鏡觀察樣品，會看到明場下所看不到的許多細(xì)節(jié)，明場下難于判別的一些結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)或缺陷，可通過微分干涉進(jìn)行反差增強而容易判斷。

　　4、干涉顯微鏡基于傳統(tǒng)的正交偏光法，又巧妙地利用了在渥拉斯頓棱鏡基礎(chǔ)上改良的DIC棱鏡和補色器(λ-片)等，使所觀察的樣品以光學(xué)干涉的方法染上豐富的色彩，從而可利用彩色膠卷或者數(shù)碼產(chǎn)品(CCD攝像頭以及數(shù)碼相機(jī))進(jìn)行彩色金相顯微攝影。

干涉顯微鏡的用途

　　干涉顯微鏡是同來測量精密加工零件表面(表面圓柱等外表面)光潔度的儀器。也可以用來測量零件表面刻線刻槽鍍層(透明)等深度。干涉顯微鏡具有各種附件，還能測量顆粒，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面進(jìn)行測量。干涉顯微鏡還可以測量表面不平深度范圍為1~0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。

　　干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。

干涉顯微鏡的維護(hù)保養(yǎng)

　　1、干涉顯微鏡是精密計量儀器。因此使用、操作要求非常小心，防止碰撞和沖擊，以免破壞調(diào)整。

　　2、不要私自拆卸物鏡，捻下零件等等，任何拆卸所導(dǎo)致干涉顯微鏡失調(diào)必須由專業(yè)人事進(jìn)行整修。

　　3、為防止目鏡管內(nèi)棱鏡沾上灰塵，應(yīng)在目鏡管上放測微目鏡，如果物鏡頭臟了，不要扭下它，而只能用潔凈的綢布、或揩鏡紙輕輕揩拭。油多的斑點可以用脫脂棉花蘸少些酒精和乙 醚混合劑(1：1)進(jìn)行清潔處理。

　　4、干涉顯微鏡Z好安置在計量室，不用時，用一個罩子將儀器套起來，干涉顯微鏡使用時，更注意防止撞壞以及沾上灰塵和油污，用畢后放回計量室內(nèi)。