氦質譜檢漏儀在向著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展。廣泛應用于航空航天，電力電子，半導體，汽車，制冷和醫(yī)藥等各個行業(yè)。

氦質譜檢漏儀簡介

　　近年來，隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質譜檢漏及其應用技術也在不斷發(fā)展和完善。世界各國的生產(chǎn)商相繼推出了多種類型的氦質譜檢漏儀，廣泛應用于航空航天，電力電子，汽車，制冷和醫(yī)藥等各個行業(yè)。綜觀Zxin氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大地推動了氦質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。

氦質譜檢漏儀的結構

　　一般情況下，氦質譜檢漏儀是由質譜室、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)組成，有時還需要配置輔助的真空系統(tǒng)。

　　1、質譜室

　　形象的說，質譜室是氦質譜檢漏儀的心臟，由離子源，質量分析器和離子檢測器三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將diyi級放大用高阻及靜電計管也放在質譜室之內。質譜室殼由非磁性材料制成，內部抽空，而外部設置磁鐵形成磁分析器的磁場。

　　質譜室中離子源的作用是將中性分子和原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質量分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質量分析器的作用是將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離，一般有磁偏轉式和四極犁兩類。一般氦質譜檢漏儀多使用前一種質量分析器，而四極型多適用于多種探索氣體的通用型氦質譜檢漏儀。離子檢測器的作用是收集質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，以推動漏率顯示等有關電路。

　　2、真空系統(tǒng)

　　真空系統(tǒng)是提供質譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時保證氦離子在分析器中的運動有較高的傳輸率，因此建立一個高真空系統(tǒng)是必要的。系統(tǒng)中的節(jié)能閥則是為了滿足質譜室工作壓力的調節(jié)，該閥全開時檢漏靈敏度Zgao，因此在條件允許情況下開啟大些為宜。檢漏時為了校準檢漏靈敏度，系統(tǒng)中設置了標準漏孔。

　　真空系統(tǒng)一般由機械泵、分子泵、測量系統(tǒng)組成。按照真空系統(tǒng)的不同結構，氦質譜檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散系統(tǒng)兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氦氣首先到達質譜管被檢測，因而具有較高的靈敏度。逆擴散系統(tǒng)氦質譜檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，因此被廣泛采用，逐漸成為市場的主流產(chǎn)品。

　　3、電氣系統(tǒng)

　　氦質譜儀電氣部分的核心是質譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。

　　4、輔助真空系統(tǒng)的配置

　　在氦質譜檢漏儀檢漏技術中，根據(jù)被檢件的結構，尺寸要求和具體的檢漏條件，設置具有預抽被檢件、保證氦質譜檢漏儀工作真空度、進行氣體分流、縮短反應時間和清除時間、降低對靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統(tǒng)，在某些條件下是非常必要的。

氦質譜檢漏儀的主要性能指標

　　1、Z小可檢漏率：即氦質譜檢漏儀所能檢出的Z小漏孔的漏率。

　　2、響應(清除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示才能達到Zda值;反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，清除時間稍長于響應時間。

　　3、啟動時間：指氦質譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。