低壓等離子清洗機(jī)技術(shù)原理

低壓等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來(lái)越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也越來(lái)越長(zhǎng)，受磁場(chǎng)作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)空間運(yùn)動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕的效果。

低壓等離子清洗機(jī)工作原理

等離子處理工藝可以實(shí)現(xiàn)有選擇的表面改性

活化：大幅提高表面的潤(rùn)濕性能，形成活性的表面

清洗：去除灰塵和油污，精細(xì)清洗和去靜電

涂層：通過(guò)表面涂層處理提供功能性的表面

提高表面的附著能力

提高表面粘接的可靠性和持久性

低壓等離子清洗機(jī)應(yīng)用

一、金屬表面去油及清洗

金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果：

1、灰化表面有機(jī)層

表面會(huì)受到物理轟擊和化學(xué)處理因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。

2、氧化物去除

金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合氣體。有時(shí)也采用兩步處理工藝。diyi步先用氧氣氧化表面，第二步用氫氣和氬氣的混合氣體去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。

3、焊接

通常，印刷線路板（PCB）在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。

4、鍵合

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清洗。

二、等離子刻蝕

在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣相。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕的部分要使用材料覆蓋起來(lái)（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過(guò)氧氣可以灰化填充混合物，同時(shí)得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤(rùn)濕面積、提高粘合強(qiáng)度。

三、刻蝕和灰化

聚四氟（PTFE）刻蝕

聚四氟（PTFE）在未做處理的情況下不能印刷和粘合。眾所周知，使用活躍的鈉堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境，還能達(dá)到更好效果。

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面Zda化，同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層，這樣塑料就能夠進(jìn)行粘合、印刷操作。

聚四氟（PTFE）混合物的刻蝕

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細(xì)地進(jìn)行，以免填充物被過(guò)度暴露，從而削弱粘合力。

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣?？梢詰?yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和PP等。

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗

塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等等一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。同時(shí)，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清洗。等離子處理與灼燒處理相比不會(huì)損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。

1.不需要用化學(xué)溶劑進(jìn)行預(yù)處理

2.所有的塑料都能應(yīng)用

3.具有環(huán)保意義

4.占用很小工作空間

5.成本低廉

等離子表面處理的效果可以簡(jiǎn)單地用滴水來(lái)驗(yàn)證，處理過(guò)的樣品表面完全被水潤(rùn)濕。長(zhǎng)時(shí)間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會(huì)被刻蝕，刻蝕表面具有極小的表面接觸角和Zda潤(rùn)濕能力。

五、等離子涂鍍聚合

在涂鍍中兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下會(huì)聚合。這種應(yīng)用比活化和清洗的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類(lèi)似聚四氟（PTFE）材質(zhì)的涂鍍、防水鍍層等。涂鍍層非常薄，通常為幾個(gè)微米，此時(shí)表面的疏水性非常好。常用的有3種情況

1.防水涂鍍——環(huán)己物

2.類(lèi)似PTFE材質(zhì)的涂鍍——含氟處理氣體

3.親水涂鍍——乙烯醋酸