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2025-01-10 10:53:59氬離子減薄儀: 氬離子減薄儀是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。它利用氬離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行轟擊，通過物理濺射作用去除樣品表層的材料，實(shí)現(xiàn)樣品的減薄處理。該設(shè)備具有減薄速率高、精度高、可制備超薄樣品等特點(diǎn)，適用于多種材料如金屬、陶瓷、半導(dǎo)體等的減薄處理。氬離子減薄儀廣泛應(yīng)用于透射電鏡樣品制備、材料微觀結(jié)構(gòu)分析等領(lǐng)域，是研究材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)和性能的重要工具。

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氬離子減薄儀問答

2021-01-06 13:31:07氬離子拋光制樣經(jīng)驗(yàn)分享: 微納米顆粒（針對(duì)200μm以下樣品）應(yīng)用范圍：微納米材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)分析例如：鋰電池陽(yáng)極材料、微納米顆粒顆粒類的樣品多數(shù)利用掃描電鏡檢測(cè)形貌、粒度統(tǒng)計(jì)、能譜并做一些長(zhǎng)度測(cè)量，但是一旦涉及內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察普通制樣方式很難達(dá)到要求。制樣方式缺點(diǎn)研缽研磨/刀片壓碎只能看到斷面的情況，而且成功率不高，電鏡觀察需要費(fèi)時(shí)尋找鑲嵌包埋需要機(jī)械拋光，容易脫落；耗時(shí)；需考慮鑲嵌料對(duì)樣品影響舉例來(lái)講，圖1是客戶要求觀察顆粒表面和斷面形貌，研缽研磨后，結(jié)果并不理想，視野內(nèi)可見大量碎裂顆粒，且斷面情況各異更無(wú)法進(jìn)行測(cè)量等工作。圖 1圖2是用Gatan Ilion II設(shè)備拋光后結(jié)果，可見視野內(nèi)顆粒全部切開，截面平整，易于觀察測(cè)量；圖3為局部放大，顆粒內(nèi)部結(jié)構(gòu)一覽無(wú)余。圖 2圖 3圖 4圖 5電子元器件應(yīng)用范圍：各類微元器件電子元器件由于其越來(lái)越微小、越來(lái)越復(fù)雜，其失效時(shí)很難定位，也很難用普通手段看清其內(nèi)部結(jié)構(gòu)（圖6）。圖中結(jié)果用Ilion II 進(jìn)行處理，局部放大圖片能夠看到幾十個(gè)nm結(jié)構(gòu)，后續(xù)進(jìn)行分析帶來(lái)極大便利。圖 6我們?cè)賮?lái)看一例（圖7）圖 7紅框1局部放大，可見有10層結(jié)構(gòu)圖 8紅框2局部放大，一目了然圖 9