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2025-01-10 17:03:03光柵耦合干涉 (GCI) 技術(shù)
光柵耦合干涉(GCI)技術(shù)是一種高精度的光學(xué)測(cè)量技術(shù)。它利用光柵的衍射效應(yīng)與干涉原理相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面形貌、薄膜厚度及折射率等參數(shù)的精確測(cè)量。GCI技術(shù)具有非接觸、高分辨率及快速測(cè)量等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件檢測(cè)及材料科學(xué)研究等領(lǐng)域。該技術(shù)能夠提供準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果,有助于提升產(chǎn)品質(zhì)量和科研水平。

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光柵耦合干涉 (GCI) 技術(shù)相關(guān)內(nèi)容

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