- 2025-01-10 17:03:03光柵耦合干涉（GCI）技術(shù)
- 光柵耦合干涉（GCI）技術(shù)是一種高精度的測(cè)量技術(shù)，利用光柵作為耦合元件，通過(guò)光的干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量微小位移或形變。該技術(shù)具有高精度、高分辨率和非接觸式測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械加工等領(lǐng)域。GCI技術(shù)通過(guò)測(cè)量光柵衍射產(chǎn)生的干涉條紋變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面形貌、厚度、平行度等參數(shù)的精確測(cè)量，為科研和生產(chǎn)提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。
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