JEOL FE-SEM 的Z佳光闌角控制鏡
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JEOL FE-SEM采用了Z佳光闌角控制鏡(ACL),這樣,即使照射樣品的探針電流很大,與從前相比, 也能獲得很小的電子束斑。
大探針電流時,用ACL 能獲得很小的電子束斑。
探針電流大的時候,束斑直徑也變大。
樣品: 金屬材料 (Cu、Ag、Sn、Pb)
倍率:×15,000
加速電壓: 5 kV
探針電流 50 nA
Z小化的分析體積使用較低的加速電壓, 較大的探針電流Z小化的面分布速度可以減少對樣品的損傷
高空間分辨率的微區(qū)元素面分布及快速測試
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- JEOL FE-SEM 的Z佳光闌角控制鏡
JEOL FE-SEM采用了Z佳光闌角控制鏡(ACL),這樣,即使照射樣品的探針電流很大,與從前相比, 也能獲得很小的電子束斑。
大探針電流時,用ACL 能獲得很小的電子束斑。
探針電流大的時候,束斑直徑也變大。
樣品: 金屬材料 (Cu、Ag、Sn、Pb)
倍率:×15,000
加速電壓: 5 kV
探針電流 50 nA
Z小化的分析體積使用較低的加速電壓, 較大的探針電流Z小化的面分布速度可以減少對樣品的損傷
高空間分辨率的微區(qū)元素面分布及快速測試
- JEOL FE-SEM 采用Z佳光闌角控制鏡
Z新型的場發(fā)射掃描電鏡JEOL FE-SEM采用了Z佳光闌角控制鏡,因此,即使在很大的探針電流下也能獲得很小的電子束斑。此外,使用低加速電壓進(jìn)行元素分析,可以減小電子束在樣品中的擴(kuò)展區(qū)域,能進(jìn)行高空間分辨率的微區(qū)分析。
探針電流增大時,通過光闌角控制鏡 能獲得小的探針直徑。
探針電流增大時, 探針直徑也變大。
低加速電壓下減少電子束在樣品中的擴(kuò)展,同時利用大探針電流進(jìn)行快速分析。
能夠在微區(qū)進(jìn)行高空間分辨率的分析
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