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Park NX-TSH 專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計的自動化原子力顯微鏡(AFM)系統(tǒng)

本文由 Park原子力顯微鏡公司 整理匯編

2024-09-11 18:04 4369閱讀次數(shù)

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NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號,可為用戶提供高精度測量。業(yè)界領(lǐng)先的低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。標(biāo)準(zhǔn)Z掃描器由高強度壓電堆驅(qū)動,并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo),具有高共振頻率,可以實現(xiàn)更準(zhǔn)確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀,ZDz掃描范圍可從15 um擴展到40 um.

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