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KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 資料
本文由 北京燕京電子有限公司 整理匯編
2024-09-15 17:10 1569閱讀次數(shù)
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法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗,其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng),結構緊湊,可以直接放置在實驗臺上,能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預熱,也不需要單獨的冷卻單元。另外,UV-KUB系列先進的設計,保證了光源的準直性和均勻性,其Z小分辨率可達2μm,Zda發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
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KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 資料
法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗,其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng),結構緊湊,可以直接放置在實驗臺上,能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預熱,也不需要單獨的冷卻單元。另外,UV-KUB系列先進的設計,保證了光源的準直性和均勻性,其Z小分辨率可達2μm,Zda發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
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[詳細]
2024-09-15 17:10
標準
KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 資料二
法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗,其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng),結構緊湊,可以直接放置在實驗臺上,能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預熱,也不需要單獨的冷卻單元。另外,UV-KUB系列先進的設計,保證了光源的準直性和均勻性,其Z小分辨率可達2μm,Zda發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
[詳細]
2024-09-15 17:11
標準
光刻機uv-kub 2-Brochure
光刻機uv-kub 2-Brochure[詳細]
2022-07-05 11:23
標準
光刻機uv-kub 3-Brochure
光刻機uv-kub 3-Brochure[詳細]
2024-09-19 23:59
標準
紫外掩膜曝光光刻機
美國恩科優(yōu)N&Q系列光刻機(Mask Aligner),是領xian的光刻系統(tǒng),在光刻領域有超過35年的經(jīng)驗,售出1000多套設備,為半導體制造和科研領域提供品質優(yōu)良穩(wěn)定的全波段紫外光刻機系統(tǒng),廣泛的應用于半導體光刻工藝制程、微機電MEMS、二極管芯片、發(fā)光二極體(LED)芯片制造、生物器件、納米科技、顯示面板LCD、光電器件、奈米壓印以及電子封裝等諸多領域??蛻羧缑绹娇蘸教旃?、飛利浦、摩托羅拉、惠普、美國國家半導體公司、牛津大學、劍橋大學、斯坦福大學、倫敦大學、臺塑、墨爾本大學、華盛頓州立大學、方大集團、大聯(lián)大集團、光寶科技、漢磊股份、廈門乾照光電股份有限公司等等。[詳細]
2024-09-28 08:12
產(chǎn)品樣冊
玻璃碎片曝光機 JZ-SGE-A
玻璃碎片曝光機/型玻璃碎片曝光儀型號:JZ-SGE-A1.用途:JZ-SGE-A型玻璃碎片曝光機是用于汽車、建筑、機車鋼化玻璃碎片狀態(tài)試驗的必備設備。本機精心選擇對曬圖紙曝光敏感的紫外光做光源,提高了曝光效率,具有玻璃碎片成像清晰的特點;本機應用單片機實現(xiàn)曝光時間和對開式擋光板自動控制;具有曝光時間可調、定時準確的特點;其技術指標符合國家標準《汽車用安全玻璃》(GB9656)、建筑用《鋼化玻璃》國家標準(GB9963),《鐵路車輛用安全玻璃》(GB18045)的要求,尤其是能對實物樣品玻璃上的商標和3C強制認證標識進行曝光曬圖。2.主要技術指標:擋光板開/關時間:≤5s;擋光板Zda開啟角度:≤120°;曝光光強穩(wěn)定時間:≤180s(自動聲響提示);Zdi安裝高度:1.6m(對應曝光面積2×1m);光源起輝時間:≥2s;光源再起輝Z小間隔時間:5min;曝光時間設定范圍:1-999s(四位數(shù)碼顯示);無線遙控距離:≥10m;功率消耗:220VAC≤680W;[詳細]
2018-09-24 10:00
產(chǎn)品樣冊
UVK3高分辨率紫外曝光機
詳細介紹了UVK3紫外曝光機的功能及應用領域和規(guī)格參數(shù)[詳細]
2020-03-29 12:03
產(chǎn)品樣冊
Micronit 微流控芯片標準夾具 FC系列 資料二
荷蘭Micronit研發(fā)的FC系列微流控芯片標準夾具,適用于Micronit的標準微流控芯片,也適配Micronit設計的標準頂端進樣芯片(45mm x 15mm)或標準側邊進樣芯片(15 mm x 15 mm或者15 mm x 30 mm的)。夾具以其特有的密封設計,保證與芯片的緊密連接,同時也不會對微流控芯片造成損傷。
芯片夾具的主體材質采用不銹鋼、鋁合金或者PEEK,堅固耐用,配套特氟龍連接套裝,包含特氟龍連接管和密封圈,可以滿足絕大多數(shù)試劑的使用。
[詳細]
2024-09-15 17:09
標準
Nanonex光刻機/紫外光刻機
Nanonex光刻機/紫外光刻機[詳細]
2024-09-14 13:44
課件
Eden-microfluidics 微流控芯片快速制備材料 Flexdym ? 資料
Flexdym ?是一種新型微流控芯片制作材料,其物理性質與PDMS相似,但拋棄了PDMS加工工藝復雜,加工時間長等缺點,是制作微流控芯片的新選擇。Flexdym ?在Sublym100 ?芯片快速成型機中真空熱壓1分鐘即可定型,鍵合時無需對芯片表面進行等離子表面處理,只需使用熱板加熱即可完成與基板的鍵合。此外,F(xiàn)lexdym ?具有極低的粘度,可用于快速熱成型,填充率是傳統(tǒng)硬質熱塑性塑料(COC、PS、PMMA等)的100-1000倍。[詳細]
2024-09-15 17:09
標準
電子束光刻機(多功能超高精度電子束光刻機P21)
電子束光刻機(多功能超高精度電子束光刻機P21)
依托壟斷性專利技術,百及納米推出國際領先的超高精度大面積寫場電子束光刻機 P21 系列。 百及納米S次開發(fā)了新一代電子束光刻機的電子束閉環(huán)控制新原理。百及超高精度電子束光刻機 P21 是第一款新一代電子束光刻機的代表,在著名電子束光刻機制造商德國 Raith 公司的成熟機型上 升級而成。該系列主要包括 P21-2,P21-4 和 P21-6 三個型號,區(qū)別主要在于樣品尺寸(2,4,6 英寸晶圓)及擴展使用功能。P21 不僅完整地保留了原電子束光刻機的整體功能,且集多項國際領先的關 鍵指標于一身,包括:
? 國際上S次開發(fā)的新穎電子束閉環(huán)控制系統(tǒng),能夠實現(xiàn)電子束的原位檢測與校正;
? 國際領先的寫場拼接精度≤2 nm;
? 電子束光刻的長期穩(wěn)定性。精確校正電子束的空間漂移,將其位置穩(wěn)定性提高到≤10 nm/h; 有利于通過提高電子束光刻時間實現(xiàn)大尺寸圖形的曝光需求。
百及納米的 P21 系列以常規(guī)電子束光刻機為載體,通過獨家專利技術對其進行功能及性能指標的大幅提升。P21 光刻機組件均為德國原裝制造。[詳細]
2022-09-05 22:02
選購指南
微流控芯片實驗室
微流控芯片實驗室[詳細]
2024-09-14 01:07
操作手冊
Eden-microfluidics微流控芯片真空熱壓成型機Sublym100 ? 資料
Sublym100 ?微流控芯片真空熱壓成型機來自法國Eden-microfluidics公司,用于微流控芯片快速成型,配合Flexdym?材料,可以非??焖俚耐瓿晌⒘骺匦酒尚停部梢杂糜谖⒘骺匦酒臒釅烘I合。此真空熱壓成型機使用時,僅需3步,便可完成微流控芯片的成型、熱壓鍵合等操作,無需額外處理(等離子、溶劑或真空),使用簡單,操作方便,是微流控芯片實驗室的有力工具。[詳細]
2024-09-15 17:09
標準
Micronit 微流控芯片標準夾具 FC系列 操作手冊
荷蘭Micronit研發(fā)的FC系列微流控芯片標準夾具,適用于Micronit的標準微流控芯片,也適配Micronit設計的標準頂端進樣芯片(45mm x 15mm)或標準側邊進樣芯片(15 mm x 15 mm或者15 mm x 30 mm的)。夾具以其特有的密封設計,保證與芯片的緊密連接,同時也不會對微流控芯片造成損傷。
芯片夾具的主體材質采用不銹鋼、鋁合金或者PEEK,堅固耐用,配套特氟龍連接套裝,包含特氟龍連接管和密封圈,可以滿足絕大多數(shù)試劑的使用。
[詳細]
2024-09-15 17:09
標準
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器 PDMS Port Creator 資料
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器,可以在PDMS芯片上實現(xiàn)快速、方便又極ng確的打孔。此款打孔器配備了對準攝像頭和顯示器,只需通過攝像頭對準需要打孔的位置,然后壓下打孔針,打孔針便可以保持在垂直方向上,完成在PDMS微流控芯片上的打孔,并且在之后的抬起過程中,從PDMS微流控芯片上取出的PDMS圓柱芯也會自動從打孔針中脫落,從而避免了PDMS殘屑可能帶來的堵塞問題。如果需要在PDMS芯片上打其他直徑的孔,只需從安裝柱上拆下打孔器的頭部,并將其替換為所需所需直徑的打孔器頭部即可。[詳細]
2024-09-11 17:46
標準
無掩膜光刻機
光刻機又名掩膜對準曝光機,是芯片制造流程中光刻工藝的核心設備。其主要用途是生產(chǎn)集成電路,將設計好的集成電路模板復刻到硅晶圓上,從而生產(chǎn)出微小、精確、高效率的集成電路。
根據(jù)光刻機的曝光方式,主要可以分為接觸式光刻機、接近式光刻機和直寫式光刻機,其中直寫式光刻機又可以依據(jù)其是否需要使用掩膜版細分為有掩膜和無掩膜兩種。無掩膜光刻機是一種不需要使用傳統(tǒng)掩膜版的光刻機,它通過直接對晶圓進行曝光,實現(xiàn)圖案的轉移,能夠更快速地制造特定產(chǎn)品、降低成本,除了能夠滿足傳統(tǒng)的2D光刻需求外,還能實現(xiàn)2.5D光刻(即灰度光刻)。無掩膜光刻機不需要掩膜版、高度靈活的優(yōu)點,使其被廣泛應用于科學研究、定制化生產(chǎn)、快速原型制造、電子器件、生物醫(yī)藥、光學元件、微機械等領域。[詳細]
2024-09-15 17:53
產(chǎn)品樣冊
Eden-microfluidics微流控芯片環(huán)氧樹脂模具制作工具套裝Epoxym ? 資料
Epoxym ?微流控芯片環(huán)氧樹脂模具制作工具套裝來自Eden-microfluidics,是專門用于微流控芯片模板(SU-8,硅或玻璃等易損材質)的復制工具,復制后的環(huán)氧樹脂芯片模板堅固耐用,使用壽命長。
其使用步驟分為兩步:步驟一,使用硅樹脂(例如PDMS)澆筑在需要復制的模具上,制作一個反模;步驟二,利用制作出來的硅樹脂反模,使用環(huán)氧樹脂在反模中完成模具的復制。
[詳細]
2024-09-15 17:11
標準
美國MAC機控閥1800系列選型資料
美國MAC機控閥1800系列選型資料功能接囗尺寸流量(Zda)安裝方式5/2----5/31/4”3/8”1.4Cv管接/串接技術參數(shù):介質壓縮空氣,真空或惰性氣體壓力范圍真空到150PSI流量范圍1/4”1/8”:1.4Cv潤滑不需要,如果需要請選用中性油過濾要求40泄漏量50cm/min訂貨方式:閥體選擇:18①②③④---⑤-⑥-⑦①②③④閥體類型⑤閥體類型⑥閥體類型⑦接口尺寸0001有彈簧底板1二位單壓,1#進氣,4\5#排氣或真空1管接,外先導1/4”21/4”NPT0002有彈簧底板\適用0034,0035,00392二位雙壓,4\5#進氣,1#排氣或真空2串接,3個共用口33/8”NPT0003有彈簧底板,帶安裝螺孔5三位中封,1#進氣,4\5#排氣3串接,1個共用口(進氣)51/4”BSPP6三位中泄,1#進氣,4\5#排氣9串接,3個共用口(內置流量控制)63/8”BSPP7三位中壓,雙壓,4\5#進氣,1#排氣8三位中壓,單壓,4\5#進氣,1#排氣備注:2、3#為氣缸口操作類型:⑧⑨⑩⑧⑨⑩⑧⑨⑩⑧⑨⑩0111垂直下壓凸輪開關平行于2和3口0023帶鎖定上拉式手柄開關垂直于閥體0033圓形按鈕,有保護圈0112垂直下壓凸輪開關垂直于2和3口0024無鎖定上拉式手柄開關垂直于閥體0034鎖定式圓形按鈕0013平行移動凸輪開關垂直于2和3口0025帶鎖定下按式手柄開關平行于閥體0035鎖定圓形按鈕,有面板固定螺絲0014平行移動凸輪開關平行于2和3口0026無鎖定下按式手柄開關平行于閥體0036蘑菇形按鈕0021帶鎖定下按式手柄開關垂直于閥體0027帶鎖定上拉式手柄開關平行于閥體0037蘑菇形按鈕,有面板固定螺絲0022無鎖定下按式手柄開關垂直于閥體0028無鎖定上拉式手柄開關平行于閥體0038蘑菇形按鈕,有保護圈0031圓形按鈕0032圓形按鈕,有面板固定螺絲0039鎖定式蘑菇形按鈕[詳細]
2018-09-29 10:00
產(chǎn)品樣冊
美國MAC機控閥1100系列選型資料
美國MAC機控閥1100系列選型資料功能接囗尺寸流量(Zda)安裝方式3/2----2/21/4”1/8”0.18Cv管接/串接/板接技術參數(shù):介質壓縮空氣,真空或惰性氣體壓力范圍真空到150PSI流量范圍1/4”1/8”:0.18Cv潤滑不需要,如果需要請選用中性油過濾要求40泄漏量50cm/min訂貨方式:閥體選擇:11①②A-①②管接①②串接①②板接111/8”NPT,通用管接811/8”NPT,三通20二通常閉,無底座131/4”NPT,通用管接831/4”NPT,三通30通用三通,無底座611/8”NPT,三通常閉841/8”NPT,三通常閉32通用三通,有底座1/8”NPT631/4”NPT,三通常閉851/4”NPT,三通常閉40二通常開,無底座42二通常開,有底座1/8”NPT70三通常閉,無底座72三通常閉,有底座1/8”NPT操作類型:③④⑤③④⑤③④⑤③④⑤011垂直下壓凸輪開關平行于1和2口023帶鎖定上拉式手柄開關垂直于1和2口031圓形按鈕012垂直下壓凸輪開關垂直于1和2口024無鎖定上拉式手柄開關垂直于1和2口032圓形按鈕,有面板固定螺絲013平行移動凸輪開關垂直于1和2口025帶鎖定下按式手柄開關平行于1和2口033圓形按鈕,有保護圈014平行移動凸輪開關平行于1和2口026無鎖定下按式手柄開關平行于1和2口036蘑菇形按鈕021帶鎖定下按式手柄開關垂直于1和2口027帶鎖定上拉式手柄開關平行于1和2口037蘑菇形按鈕,有面板固定螺絲022無鎖定下按式手柄開關垂直于1和2口028無鎖定上拉式手柄開關平行于1和2口038蘑菇形按鈕,有保護圈[詳細]
2018-09-29 10:00
產(chǎn)品樣冊
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