本文由 美國(guó)SVTA公司中國(guó)辦事處 整理匯編

2012-04-16 00:00 1165閱讀次數(shù)

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更多資料

• ALD原子層沉積系統(tǒng)資料

  ALD原子層沉積系統(tǒng)資料[詳細(xì)]

  2012-04-16 00:00

  標(biāo)準(zhǔn)

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• ALD 原子層沉積

  ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過(guò)其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來(lái)影響，所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來(lái)非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無(wú)孔的特性，可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。[詳細(xì)]

  2022-07-28 11:42

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• (ALD)原子層沉積技術(shù)理論資料

  (ALD)原子層沉積技術(shù)理論資料[詳細(xì)]

  2024-09-11 18:03

  其它

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• 原速 原子層沉積系統(tǒng)（ALD）中文樣本

  原速 原子層沉積系統(tǒng)（ALD）的儀器原理、儀器型號(hào)、應(yīng)用領(lǐng)域等[詳細(xì)]

  2023-06-25 10:32

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• ALD原子層沉積設(shè)備-SVT產(chǎn)品樣冊(cè)

  ALD原子層沉積設(shè)備-SVT產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]

  2016-10-19 18:09

  報(bào)價(jià)單

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• 使用原子層沉積（ALD）技術(shù)在顆粒表面沉積固體潤(rùn)滑涂層-FT

  使用原子層沉積（ALD）技術(shù)在顆粒表面沉積固體潤(rùn)滑涂層-FT[詳細(xì)]

  2014-01-02 00:00

  課件

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• Picousn原子層沉積系統(tǒng)中文樣本2016

  Picousn原子層沉積系統(tǒng)中文樣本2016[詳細(xì)]

  2016-09-05 00:00

  實(shí)驗(yàn)操作

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• AN # 133表征原子層沉積金屬膜和納米層

  AN # 133表征原子層沉積金屬膜和納米層[詳細(xì)]

  2016-09-07 00:00

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  用PEALD等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)制備Ge2Sb2Te5薄膜[詳細(xì)]

  2024-09-14 02:48

  標(biāo)準(zhǔn)

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• 高通量粉末原子層沉積技術(shù)開發(fā)高性能鋰離子電池

  高通量粉末原子層沉積技術(shù)開發(fā)高性能鋰離子電池[詳細(xì)]

  2024-09-14 04:48

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  2024-10-06 03:38

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• 用原子層沉積系統(tǒng)生長(zhǎng)SrTiO3以提高其電學(xué)特性

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  2024-09-14 05:25

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  2016-10-18 14:55

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  2008-09-16 00:00

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  且談石墨負(fù)極瀝青包覆的替代技術(shù) —— 原子層沉積[詳細(xì)]

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