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掃描電鏡在失效分析中的應(yīng)用案例

本文由 復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司 整理匯編

2024-09-14 19:13 1009閱讀次數(shù)

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飛納電鏡能譜一體機(jī)Phenom ProX可直觀地對(duì)選定范圍的不同問題進(jìn)行處理,例如,它的高分辨率和高景深。操作者可以在短時(shí)間內(nèi)接受培訓(xùn),并避免在應(yīng)用過程中出現(xiàn)重大錯(cuò)誤。該設(shè)備的操作系統(tǒng)令人印象深刻。導(dǎo)航和光學(xué)相機(jī)功能有助于對(duì)測(cè)量點(diǎn)理解和選擇,并允許在SEM圖像之外記錄光學(xué)圖像。用戶可以使用鼠標(biāo)操作。根據(jù)任務(wù)和樣品的屬性,可以調(diào)整圖像質(zhì)量。該系統(tǒng)即使在高分辨率下也能提供出色的圖像,另一個(gè)特點(diǎn)是減輕荷電樣品杯,在不需要大倍數(shù)的塑料表面觀察時(shí),濺射不是必需的。如果選擇濺射,得到更好的圖像質(zhì)量水平是可行的??赏扑]的一種配件是夾具,作為導(dǎo)電膠粘劑表面的另一種用途,它要求接觸面積盡可能的光滑。使用EDX和AIM擴(kuò)展應(yīng)用程序也很簡(jiǎn)單,可在很短的時(shí)間內(nèi)會(huì)帶來(lái)好的結(jié)果。在報(bào)告和拼接圖像的擴(kuò)展方面,軟件的優(yōu)化將是未來(lái)使用的理想選擇。

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