本文由 上?？茖W(xué)儀器有限公司 整理匯編

2018-08-21 10:00 848閱讀次數(shù)

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• 潔凈工作臺(tái)法凈化空氣

  　　空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境首先被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，NASA(譯者注：美國(guó)航空航天ZX)和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間。而且首chuang了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法?！　“雽?dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為潔凈工作臺(tái)法。這個(gè)主要是把過濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無脫落的物質(zhì)。在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸?！　≡诖笮蛙囬g中按順序排列的工作臺(tái)(叫做工作罩)組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種GX顆粒搜集過濾器(HEPA過濾器)。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中?！　∫话銇碚f，HEPA過濾器裝于潔凈工作臺(tái)頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式(VLF)工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺(tái)把HEPA過濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱為空氣層流平行(HLF)式工作臺(tái)?！　X顆粒搜集過濾器(HEPA)　　DirtyAir臟空氣　　CleanAir凈空氣　　空氣層流立式工作臺(tái)　　Blower鼓風(fēng)機(jī)　　HEPAFilterHEPA過濾器　　Prefilter前級(jí)過濾器　　Shield擋板　　AirFlow空氣流　　WorkSurface工作臺(tái)面　　這兩種工作臺(tái)按兩種方法來保持晶圓清潔：首先是工作臺(tái)內(nèi)的空氣凈化;其次，凈化過程在工作臺(tái)內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺(tái)?！　∈褂没瘜W(xué)溶液的工藝需要對(duì)VLF式工作臺(tái)進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)，這種工作臺(tái)必須接有空氣排風(fēng)，以吸收化學(xué)溶液蒸汽，因?yàn)檎羝麜?huì)產(chǎn)生安全及污染的危險(xiǎn)。在這種設(shè)計(jì)下，必須平衡VLF與排風(fēng)中的空氣流，來維持工作臺(tái)的潔凈級(jí)別數(shù)。而且還要求晶片需存放在工作臺(tái)中相對(duì)較潔凈的前部。　　凈化工作臺(tái)的方法還可應(yīng)用于現(xiàn)代晶圓加工設(shè)備中。在每臺(tái)設(shè)備上安裝VLF或HLF式工作臺(tái)來保持晶圓在裝卸過程中潔凈。浙江蘇凈凈化設(shè)備有限公司位于浙江省紹興市上虞區(qū)道墟鎮(zhèn)，，是華東地區(qū)一家凈化設(shè)備行業(yè)中的制造商之?？砂碔SO14644-1標(biāo)準(zhǔn)、GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家GMP規(guī)范要求為微電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)提供專業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、施工、檢測(cè)及技術(shù)服務(wù)。公司主營(yíng)凈化工作臺(tái)系列、風(fēng)淋室系列、通風(fēng)柜系列，生物安全柜系列被廣泛應(yīng)用于YL衛(wèi)生、電子、制藥、生物、食品、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗(yàn)檢疫、航空航天、汽車制造、精密儀器、大專院校和各科研機(jī)構(gòu)，在國(guó)內(nèi)和東南亞市場(chǎng)享有極高的聲譽(yù)。浙江蘇凈凈化設(shè)備有限公司竭誠為的消費(fèi)者和經(jīng)銷商服務(wù)，將以Zyou質(zhì)的產(chǎn)品；Z人性化的服務(wù)；Zdi廉的價(jià)格；熱誠歡迎您的加盟！[詳細(xì)]

  2018-08-21 10:00

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• 標(biāo)準(zhǔn)型潔凈工作臺(tái)

  水平單向流流形這是一種通用性較強(qiáng)的局部潔凈工作臺(tái)，它廣泛用于電子、國(guó)防、精密儀器、儀表、制藥等行業(yè)。特點(diǎn)：1、水平流形，開放式臺(tái)面，操作方便。2、配備壓表差，可隨時(shí)掌握GX過濾器阻力變化情況。3、采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，輕觸式開關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想狀態(tài)。4、工作臺(tái)面為進(jìn)口不銹鋼。[詳細(xì)]

  2018-08-21 10:00

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• 潔凈工作臺(tái) SW-CJ-2G

  蘇州凈化SW-CJ-2G潔凈工作臺(tái)工作原理：空氣經(jīng)后部的初效空氣過濾器和低噪音離心式通風(fēng)機(jī)壓入靜壓箱，經(jīng)GX空氣過濾器在上側(cè)部均勻吹出，形成高潔凈度的水平/垂直空氣幕，去除工作區(qū)域內(nèi)的原自然空氣，開機(jī)后五分鐘即達(dá)到理想的高潔凈度空間。采用可調(diào)風(fēng)機(jī)雙速調(diào)節(jié)風(fēng)量大小，輕觸型開關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證工作區(qū)內(nèi)的風(fēng)速始終處于理想狀態(tài)。結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：箱體殼采用進(jìn)口中纖板材緊密結(jié)合，保證長(zhǎng)期無銹蝕發(fā)生，面層電噴涂表面處理，表面光滑無塵，臺(tái)板敷設(shè)不銹鋼板，方便耐用。參數(shù)規(guī)格：外形尺寸(mm):1300×580×1600工作區(qū)尺寸(mm):1150×400×500潔凈度:100級(jí)@≥0.5um(美聯(lián)邦209E)菌落數(shù):≤0.5個(gè)/皿.時(shí)(Φ90mm培養(yǎng)平皿)平均風(fēng)速:0．25--0．45m/s(快．慢雙速)振動(dòng)/半峰值:≤5μm(X.Y.Z方向)噪聲照度:62dB(A)/≥300Lx電源功耗:AC/50HZ/220V/130W重量:<85kgGX過濾器規(guī)格及數(shù)量:1135×600×50×①熒光燈/紫外燈規(guī)格及數(shù)量:30W×①/30W×①使用保養(yǎng)：【安裝使用】：本工作臺(tái)就位地點(diǎn)應(yīng)在環(huán)境較為清潔的工作室內(nèi)（**置于十萬等級(jí)或三十萬等級(jí)的初級(jí)凈化間），插上電源，按控制面板上的所示功能開啟即可，在開機(jī)前應(yīng)對(duì)凈化臺(tái)的工作區(qū)面及外殼進(jìn)行認(rèn)真清潔處理，去除表面積塵，開機(jī)后十分鐘即可進(jìn)行實(shí)施正常操作使用?！揪S護(hù)】：1、根據(jù)實(shí)際情況，定期將初效過濾器拆下清洗，清洗周期一般為3~6個(gè)月。（若長(zhǎng)期不清洗，積塵將導(dǎo)致進(jìn)風(fēng)量不足而降低潔凈效果）。2、當(dāng)正常調(diào)換或清洗初效空氣過濾器后，仍不能達(dá)到理想的截面風(fēng)速時(shí)，則應(yīng)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的工作電壓，從而達(dá)到理想的均勻風(fēng)速。3、一般在使用十八個(gè)月后當(dāng)風(fēng)機(jī)工作電壓調(diào)整至Z高點(diǎn)時(shí)，仍不能達(dá)到理想風(fēng)速時(shí)，則說明GX空氣過濾器積塵過多（濾料上濾孔已基本被堵，要及時(shí)更新），一般GX空氣過濾器的使用期限為十八個(gè)月。4、更換GX空氣過濾器時(shí)，應(yīng)注意型號(hào)規(guī)格尺寸的正確（原生產(chǎn)廠家配置），按箭頭風(fēng)向裝置，并注意過濾器的周邊密封，無滲漏現(xiàn)象發(fā)生。歡迎前來咨詢產(chǎn)品！[詳細(xì)]

  2018-11-15 10:02

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• yamato潔凈工作臺(tái)ADE

  yamato潔凈工作臺(tái)ADE中文產(chǎn)品資料 [詳細(xì)]

  2024-09-14 02:55

  標(biāo)準(zhǔn)

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• 怎樣給潔凈工作臺(tái)除銹

  怎樣給潔凈工作臺(tái)除銹[詳細(xì)]

  2014-08-21 00:00

  其它

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• JG/T 292-201《潔凈工作臺(tái)》

  JG/T292-201《潔凈工作臺(tái)》本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了潔凈工作臺(tái)的術(shù)語、定義和縮略語，規(guī)格、分類和標(biāo)記，材料、結(jié)構(gòu)與生產(chǎn)環(huán)境，要求、試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規(guī)則，標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈工作臺(tái)的設(shè)計(jì)、制造及檢測(cè)，不適用于生物安全柜?！稘崈艄ぷ髋_(tái)》其中引用和采納了GB/T2423.1、GB/T2423.2、GB/T2423.3等標(biāo)準(zhǔn)，適用與恒定濕熱試驗(yàn)室的環(huán)境。[詳細(xì)]

  2018-10-08 10:00

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• JG/T 292-2010 潔凈工作臺(tái)

  JG/T292-2010潔凈工作臺(tái)[詳細(xì)]

  2018-10-08 10:00

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• BioX 2286 潔凈工作臺(tái)產(chǎn)品樣冊(cè)

  BioX 2286 潔凈工作臺(tái)產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]

  2016-10-20 09:48

  操作手冊(cè)

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• 實(shí)驗(yàn)室潔凈工作臺(tái)基本安全事項(xiàng)

  實(shí)驗(yàn)室潔凈工作臺(tái)基本安全事項(xiàng)[詳細(xì)]

  2013-11-11 00:00

  實(shí)驗(yàn)操作

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• 實(shí)驗(yàn)室設(shè)備 潔凈工作臺(tái) AHS產(chǎn)品資料

  yamato 實(shí)驗(yàn)室設(shè)備 潔凈工作臺(tái) AHS產(chǎn)品資料[詳細(xì)]

  2024-09-14 11:29

  標(biāo)準(zhǔn)

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• 干凈的潔凈工作臺(tái)怎么維護(hù)？

  干凈的潔凈工作臺(tái)怎么維護(hù)？[詳細(xì)]

  2024-09-14 16:17

  實(shí)驗(yàn)操作

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• 潔凈工作臺(tái)的校準(zhǔn)及注意事項(xiàng)

  潔凈工作臺(tái)的校準(zhǔn)及注意事項(xiàng)[詳細(xì)]

  2024-09-20 15:26

  其它

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• 超凈工作臺(tái)/潔凈工作臺(tái)/凈化工作臺(tái)產(chǎn)品樣冊(cè)

  超凈工作臺(tái)/潔凈工作臺(tái)/凈化工作臺(tái)產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]

  2024-09-11 18:00

  標(biāo)準(zhǔn)

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• 空氣潔凈屏解決方案

  空氣潔凈屏解決方案[詳細(xì)]

  2012-11-24 00:00

  報(bào)價(jià)單

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• 實(shí)驗(yàn)室蘇凈安泰潔凈工作臺(tái)操作規(guī)程

  實(shí)驗(yàn)室蘇凈安泰潔凈工作臺(tái)操作規(guī)程[詳細(xì)]

  2014-03-03 00:00

  安裝說明

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• VD系類桌上式潔凈工作臺(tái)

  VD系類桌上式潔凈工作臺(tái)[詳細(xì)]

  2016-08-12 00:00

  課件

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• HD-650、HD-850型 桌上式潔凈工作臺(tái)

  HD-650、HD-850型桌上式潔凈工作臺(tái)HD系列桌上潔凈工作臺(tái)是YL衛(wèi)生、生物工程、科學(xué)實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域用于無菌無塵潔凈環(huán)境的局部?jī)艋瘑卧?。產(chǎn)品特征1、水平流形，準(zhǔn)閉合式玻璃風(fēng)門，操作方便。2、小巧，可隨意放置于一般工作臺(tái)上操作，便于小型工作室使用。3、采用遙控開關(guān)快慢雙速控制風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，保證工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想狀態(tài)。[詳細(xì)]

  2018-08-21 10:00

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• 超凈工作臺(tái)、潔凈工作臺(tái)日常維護(hù)與保養(yǎng)

  一:定期清潔工作臺(tái)的外部衛(wèi)生,特別是頂部,防止灰塵從初效口吸入,切勿用腐蝕性物品擦抹.二:根據(jù)各單位超凈間環(huán)境潔凈度,定期清洗初效過濾網(wǎng),拆開頂蓋時(shí)注意斷電,避免直接觸電.三:在移動(dòng)玻璃門時(shí),切勿猛拉猛放,防止鋼絲繩與滑輪脫軌,造成玻璃門不能使用,應(yīng)兩手抬平輕抬輕放.四:初始使用時(shí)建議使用小擋風(fēng)量,也可根據(jù)個(gè)人要求來調(diào)節(jié)風(fēng)量大小.五:盡量避免工作臺(tái)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,用完后應(yīng)斷電停機(jī)六:在做各項(xiàng)實(shí)驗(yàn)時(shí)需要在工作臺(tái)內(nèi)點(diǎn)酒精燈的,應(yīng)該注意酒精燈的火焰,避免燒壞操作空間內(nèi)的GX過濾網(wǎng).七:工作臺(tái)如出現(xiàn)故障后應(yīng)該即斷電停用,速與售后處聯(lián)系.成都蘇凈科學(xué)器材有限公司技術(shù)部18628150997[詳細(xì)]

  2018-10-05 10:00

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• 蘇州安泰水平送風(fēng)潔凈工作臺(tái)參數(shù)

  標(biāo)準(zhǔn)型潔凈工作臺(tái)水平送風(fēng)潔凈工作臺(tái)產(chǎn)品說明：這是一種通用性較強(qiáng)的局部潔凈工作臺(tái)，它廣泛用于電子、國(guó)防、精密儀器、儀表、制藥等行業(yè)。1.水平流形，開放式臺(tái)面，操作方便。2.配備壓差表，可隨時(shí)掌握GX過濾器阻力變化情況。3.采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，輕觸式開關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想狀態(tài)。4.工作臺(tái)面為進(jìn)口不銹鋼。style="border-collapse:coSW-CJ-1BSW-CJ-1CSW-CJ-1BUSW-CJ-1CU潔凈等級(jí)100級(jí)（美聯(lián)邦209E）平均風(fēng)速0.3～0.6m/s（可調(diào)）噪音≤62dB（A）振動(dòng)/半峰值≤3μm≤4μm≤3μm≤4μm照度≥300Lx電源AC200V、1Φ、50HzZda功耗0.4KW0.65KW1.2KW（含備用插座）0.65KW重量110Kg200Kg110Kg200Kg工作區(qū)尺寸W1×D1×H1820×480×600mm1680×480×600mm820×480×600mm1680×480×600mm裝置外形尺寸W×D×H900×700×1450mm1760×700×1450mm900×700×1450mm1760×700×1450mmGX過濾器規(guī)格及數(shù)量820×600×50×①820×600×50×②820×600×50×①820×600×50×②熒光燈/紫外燈規(guī)格及數(shù)量20W×①40W×①20W×①/20W×①40W×①/40W×①使用人數(shù)單人雙人單人雙人[詳細(xì)]

  2024-09-30 22:29

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• 潔凈棚-局部?jī)艋こ谭桨?/a>

  潔凈棚-局部?jī)艋こ谭桨?a href="/doc/detail_f1f8dc42a80959b9.html" target="_blank">[詳細(xì)]

  2015-04-08 00:00

  課件

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