一種將輝光放電源當作離子源并且和質譜儀器聯(lián)接行質譜測定的分析方法，被稱為輝光放電質譜法，英文名：glow discharge mass spectrometry，簡稱為GDMS。GDMS應用于多個學科領域，作用舉足輕重，在材料科學領域，GDMS已經變成了無機固體材料，特別是高純材料雜質成分分析的強有力方法。GDMS已經變成了反應性和非反應性等離子體沉積過程的控制和表征的工具。

應用

氣體分析應用

因為使用分子氣體(如氮氣、氧氣。、空氣、水蒸氣)能夠使得穩(wěn)定的輝光放電獲得，因此氣體的分析也能夠使用GDMS。

1、Schelles等采用第二陰極技術使用GDMS進行大氣中的顆粒物的測定。

2、Gordon等采用射頻輝光放電離子阱質譜和級聯(lián)質譜實時監(jiān)控空氣中的有毒污染物

3、McLuckey及其合作者報道了使用GDMS對大氣樣品中痕量雜質進行分析。

非導體分析應用

因為被分析樣品在直流輝光放電中作為陰極,因此對于GDMS而言非導體樣品作為分析樣品類型不是理想不是十分的理想。對于此類樣品，不僅能夠采用射頻輝光放電直接進行分析(塊狀或壓制成塊狀),而且還能夠將第二陰極引入或者混合壓制樣品(粉末)與導電材料(如Cu,Ag,石墨,Ta ，In,Ga等)將其制成陰極加以測定。

半導體分析應用

在GDMS的應用領域中，半導體材料的雜質分析是非常重要的，而且商業(yè)價值也非常的高。半導體材料中濃度極低的雜質元素就能夠對其電學性質起到決定性作用。然而普通的分析方法并不能夠勝任半導體的材料性質及雜質元素的含量水平。由于GDMS所具有的特點，其作為高純半導體材料乃至半導體工業(yè)材料的分析手段變得比不可少。