離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸詚ui小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀操作規(guī)程：

操作前準備

1.對是否仍然有氬氣存在于氬鋼瓶中進行確認，25PSI為輸出壓力。

2、將左右離子槍氬氣關掉，將載臺上升，儀器真空能夠達到5E-4帕。

3、對左右離子槍離子束是否對中進行確定。

試片交換

1、采用試片座固定好試片，并且往zhong心移動待減區(qū)。

2、將stage按住，上滑綠色箭頭使載臺上升，將vent按住，將預抽室上蓋取下

3、往預抽室樣品座放入試片座，將預抽室上蓋蓋上。

4、將stage按住，下滑綠色箭頭使載臺下降，等到指示燈從黃變綠就行

減簿及觀察

1、對所需的減薄時間進行設定。

2、對工作電壓進行設定（通常設定成4或者5Kev）

3、對離子槍工作模式進行設定（通常設定成雙離子束調變）

4、對左右離子槍工作角度進行調整（通常為±4度）

5、將氬氣工作模式調整為自動氣體

6、對載臺轉速進行設定（通常是3RPM）

7、對啟動進行點擊開始工作。

8、在工作期間能夠對Viewing 選項進行點擊，通過CCD來對樣品減薄情況進行觀察。

9、樣品穿孔后能夠對低電壓進行更換繼續(xù)減薄，一直到薄區(qū)良好。