離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應(yīng)用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度。可以以zui小的耗費(fèi)將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對(duì)能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺(tái)為其所配備，對(duì)溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀功能開發(fā)背景

頁巖氣為一種開采自頁巖層中的非常規(guī)且相當(dāng)重要的天然氣資源，其廣泛地分布于世界各地。頁巖氣的開采zui開始于美國，并且取得的效果非常顯著。zhong國有著豐富的頁巖氣資源儲(chǔ)量。資源潛力和勘探開發(fā)前景均十分大。頁巖氣通過自生自儲(chǔ)的方式在頁巖的微小孔隙及裂縫中存在著。因此頁巖氣開采評(píng)價(jià)的重要研究內(nèi)容即為頁巖中的微孔隙及微裂縫。頁巖中孔隙大部分是納米級(jí)，因?yàn)闃悠繁砻姘纪共黄剑@些孔隙通過常規(guī)制樣方法使用掃描電鏡進(jìn)行觀察相當(dāng)?shù)睦щy。一項(xiàng)技術(shù)為國外研究人員所采用。shou先使用機(jī)械方法磨平樣品表面，之后往氬離子拋光儀中放入樣品，拋光樣品表面，拋光后的樣品表面平整光滑。其中的孔隙使用掃描電鏡變得相對(duì)容易觀察?？梢酝ㄟ^對(duì)實(shí)驗(yàn)室原有的離子減薄儀的改造，來使氬離子拋光功能得以實(shí)現(xiàn)。離子減薄儀的作用是對(duì)樣品進(jìn)行減薄，來使透射電鏡觀察的要求得以滿足。