超聲掃描顯微鏡為一種對傳播媒介進行利用的無損檢測設(shè)備。在工作中元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷通過反射或者透射等掃描方式來進行檢查?？梢詫C械波和微小樣品的彈性介質(zhì)之間的相互作用精確地反應(yīng)出來，可以對物體特性的差異進行利用為其特點。例如：被測物體沒有必要透光；對于生物組織切片或樣品沒有必要染色，能夠及時地進行觀察；對于大規(guī)模集成電路，沒有必要對樣品表面進行損壞就能夠進行內(nèi)層的直接觀察。一種新工具被提供來增進對物質(zhì)性質(zhì)的了解。

超聲掃描顯微鏡原理

壓電換能器在脈沖回波的性質(zhì)的激勵作用下，將多束電信號發(fā)出，從耦合液介質(zhì)經(jīng)過往被測樣品傳遞，在從不同介質(zhì)經(jīng)過時會有折射、反射等現(xiàn)象發(fā)生。在從阻抗不同的材料通過的時候會有波形相位、能量上的變化等現(xiàn)象發(fā)生。通過一系列數(shù)據(jù)采集計算使得成灰度值圖片形成，能夠用來對樣品內(nèi)部狀況進行分析。

作為無損檢測分析中的一種，其能夠使在對物料電氣能進行破壞以及使結(jié)構(gòu)完整性得以保持的前提下來對物料的檢測得以實現(xiàn)。在研發(fā)、可靠性質(zhì)量保證、質(zhì)量控制、元器件二次篩選、可靠性分析、破壞性物理分析、失效分析以及物料檢測等領(lǐng)域得到了十分廣泛地應(yīng)用。

超聲掃描顯微鏡英文名稱來源

Scanning Acoustic Microscope為超聲波掃描顯微鏡英文名稱，SAM為其簡稱，因為C模式為其主要工作模式。所以也簡稱成C-SAM。。如今在做失效分析的實驗室里，此設(shè)備直接被叫做C-SAM，就類似于X射線透射機被叫做X-Ray。