氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質譜檢漏儀簡介

　　近年來，隨著高真空檢漏技術科學領域的不斷發(fā)展和應用技術的日趨成熟，以及高真空檢漏儀器技術的不斷創(chuàng)新和進步，儀器更新?lián)Q代很快。從技術性能、高可靠性、準確性、耐用性、靈活性和性價比等各方面都有著劃時代的進步，從而使高真空檢漏儀器從科學研究領域、實驗室的高端應用逐漸普及到工業(yè)和民用領域的應用。

　　氦質譜檢漏儀是在真空檢漏技術領域里應用Z為廣泛的一種，這種檢漏方法的優(yōu)點是：檢漏靈敏度高(可以檢漏到10^-12Pa·m³/s數(shù)量級)、儀器響應快、操作簡便、安全GX、成本較低、用途廣泛等，所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用。

氦質譜檢漏儀工作原理

　　氦質譜檢漏儀是以氦氣作為示漏氣體，對真空設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得Z普遍的檢漏儀器，其測量工作原理如下：

　　氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。

氦質譜檢漏儀示漏氣體的選擇

　　質譜檢漏儀器對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮：

　　①無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;

　　②質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;

　?、刍瘜W性質穩(wěn)定，不會引起化學反應和易燃易爆;

　　④在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。

　　氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運動距離長。在實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣作為示漏氣體，但也有用氫氣作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

　　氦分子在質譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質量及粘滯系數(shù)小，因而極易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無毒、無危險，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質譜檢漏儀(調整到僅對氦起反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質譜檢漏儀立即有所反應，從而可知漏孔所在位置及檢測到漏氣量大小。

　　泄漏和密封是相對而言的，氦質譜檢漏儀檢測被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來表示漏率可簡單理解為：單位時間內，單位體積容器，壓強的變化。