激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測量互作事半功倍。

激光干涉儀使用技巧

　　1、Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法

　　用激光干涉儀進(jìn)行線性測量時(shí)，Z軸測量時(shí)激光光路的準(zhǔn)直相對X、Y軸準(zhǔn)直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測器的強(qiáng)度滿足測量對對光強(qiáng)的要求，準(zhǔn)直激光光路往往需要很長時(shí)間。

　　Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。

　　激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過程，往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。

　　2、輔助工具的選擇

　　雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實(shí)際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：

　　①研制低高度云臺(tái)支架

　　部分機(jī)床工作臺(tái)高度與地面是基本相平的，那么測量Z軸時(shí)，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺(tái)安放激光器于地面，則肯定會(huì)因?yàn)槿羌鼙旧淼母叨?，損失測量范圍。

　　②選擇磁性表座

　　磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí)需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(gè)(實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測量時(shí)，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。

　　3、鏡組的靈活使用

　　激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等，實(shí)際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。

　　同時(shí)，激光干涉儀各個(gè)測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器，達(dá)到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設(shè)備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。

　　4、配備專用電腦的重要性

　　激光干涉儀常配合筆記本電腦使用，但如果不注意專用的問題，無論是軟件沖突、抑或是電腦病毒，往往會(huì)影響到測量和使用。

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)?

　　激光干涉儀在實(shí)際使用中，需要確認(rèn)其在各個(gè)測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對Z終的測量精度有著重要的影響。

　　總結(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)

　　1、激光干涉儀必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專人專用，專人送檢，他人不得隨意動(dòng)用，以防損壞，降低精度。

　　2、激光干涉儀要設(shè)置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。

　　3、對激光干涉儀要小心輕放，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng)，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發(fā)生。

　　4、激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量，此時(shí)檢測結(jié)果將收到很大的影響。