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激光干涉測試方法常用于高精度測量和定位,這是由于這種方法具有較高的測量分辨率和精度,甚至可以用于大尺寸范圍的測量 本文ZD討論了外差式和單頻式干涉儀的基本原理,并進行了相應(yīng)的計量分析來描述激光干涉法的優(yōu)勢和局限性 本文還討論了光纖耦合式微型干涉儀的設(shè)計和功能,以及在顯微技術(shù)納米技術(shù)和高精度機電一體化等方面的廣泛應(yīng)用 激光干涉法熱膨脹測試系統(tǒng)
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