X射線顯微鏡為一種X射線成像術(shù)，也是一種顯微成像技術(shù)。也就是為了觀察研究方便而放大成像微觀的、肉眼無(wú)法分辨看出的結(jié)構(gòu)和圖形的儀器。宏觀成像和微觀成像有比較相似的地方，例如襯度原理、設(shè)備的主要組成部件等，然而也有存在差異的地方。因?yàn)閄 射線顯微鏡是用來(lái)對(duì)肉眼無(wú)法分辨的微觀結(jié)構(gòu)與圖形進(jìn)行觀察的，所以在儀器結(jié)構(gòu)和要求上的差異明顯，例如要求光源具有較小的尺寸和較大的強(qiáng)度，要放大像和較高的分辨率等

X 射線顯微鏡成像原理

X 射線顯微鏡的成像原理大體上等同于光學(xué)顯微鏡，按照幾何光學(xué)原理，成像和放大作用的光學(xué)元件為其關(guān)鍵的部件。透鏡是光學(xué)顯微鏡中的關(guān)鍵的部件。因?yàn)閄射線具有非常短的波長(zhǎng)，在玻璃和通常物質(zhì)界面上都和1接近，所以其成像放大元件不可以使用玻璃透鏡，通常使用波帶片。

除此以外，吸收襯度和位相襯度被同樣利用來(lái)進(jìn)行成像。具有較強(qiáng)的光源及像探測(cè)器為相同的要求。對(duì)于光學(xué)顯微鏡來(lái)說(shuō)，通常采用肉眼進(jìn)行觀察。所以一般將一目鏡加上起到進(jìn)一步放大的作用。然而在X 射線顯微鏡中不可以直接使用肉眼進(jìn)行觀察。能夠采用CCD 等面探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)。兩種顯微鏡具有非常相似的如放大倍數(shù)、分辨力、像差等幾個(gè)重要的性能指標(biāo)

X 射線顯微鏡通常的構(gòu)造為：由強(qiáng)光源來(lái)的光束shou先從聚焦元件通過(guò)從而光斑尺寸變小、亮度加大，之后往樣品上射，從樣品透過(guò)的光，再?gòu)某上穹糯笤ㄟ^(guò)從而往探測(cè)器去。有一個(gè)Au 位相補(bǔ)償環(huán)位于成像波帶片和探測(cè)器之間，在相襯成像時(shí)使用。若為吸收襯度成像，就可以移走。