Simco-Ion 的 In-Line fusION 是一款緊湊型離子產(chǎn)生器，能提供強(qiáng)大的靜電控制，適用在半導(dǎo)體，平板顯示，器件的精密制程和微細(xì)環(huán)境內(nèi)，在有限的空間處理局部但要輸送較遠(yuǎn)的區(qū)域靜電問題。In-Line fusION 的安裝，操作和維護(hù)十分簡(jiǎn)易，只須安放靠近工作區(qū)，連接電源，即可開始工作，消除區(qū)內(nèi)的靜電。自動(dòng)平衡技術(shù)，無需調(diào)整或校準(zhǔn)。這個(gè)驚人的細(xì)小緊湊裝置使用鎢金屬靜電針和提供警報(bào)輸出，可集成設(shè)備系統(tǒng)作遠(yuǎn)端監(jiān)控。利用設(shè)備電源可以多臺(tái)串連工作Simco-Ion 標(biāo)配的 24 VDC 電源適配器，可串聯(lián)連接 5 臺(tái)。

特點(diǎn)

透過長(zhǎng)管把離子輸送

緊湊的設(shè)計(jì)

電離狀態(tài)指示燈和遠(yuǎn)端報(bào)警輸出

單臺(tái)電源可供應(yīng)多臺(tái) fusION 離子產(chǎn)生器

選配風(fēng)刀，風(fēng)環(huán)和氮?dú)?(N2) 套件

優(yōu)點(diǎn)

方便處理較為難以碰觸的目標(biāo)地方

可裝入制程設(shè)備內(nèi)有限的緊閉空間

標(biāo)準(zhǔn)功能，方便用戶操作

同一電源最多可串聯(lián) 5 臺(tái) fusION 離子產(chǎn)生器，非常適合機(jī)內(nèi)多個(gè)位置的靜電防護(hù)

In-Line fusION 符合緊湊環(huán)境和潔凈要求

技術(shù)參數(shù)

輸入電壓：24 VDC / 0.075 A

消散時(shí)間：<1秒@1000 - 100V（30 cm 延伸氣管，2 bar 氣壓）

離子平衡：< ±50 V

工作模式：穩(wěn)態(tài)直流

靜電針材質(zhì)：鎢

符合潔凈度：ISO 14644-1 Class 4

氣量需求：0.023m3/min@0.34 bar-0.102m3/min@3.4 bar

吹氣輸入：Clean Dry Air (CDA) or Nitrogen

操作環(huán)境：15-50℃，20-65% RH (無冷凝)

封裝：White Polycarbonate

體積：64 x 38 x 114 mm

重量：0.136 kg

證書：符合RoHS，CE，UL