離子濺射儀 NSC-3000（M）磁控濺射系統(tǒng) 那諾-馬斯特
磁控濺射系統(tǒng)
磁控濺射系統(tǒng)
超高真空磁控濺射系統(tǒng)
NSC-3000 (A) 全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)
磁控濺射系統(tǒng)NSC-4000,NSC-3500,NSC-3000,NSC-1000
NSC-3000（M）磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3000帶有12”派熱克鐘罩腔體，2個(gè)2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，260 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-3000（M）磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃
70，250或500 l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門易于上下載片
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
完全的安全聯(lián)鎖功能
選配項(xiàng)：
不銹鋼腔體
RF、DC濺射
RF或DC偏壓（1000V）
樣品臺(tái)可加熱到700°C
膜厚監(jiān)測(cè)儀
基片的RF射頻等離子清洗
預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片
應(yīng)用：
晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
光學(xué)以及ITO涂覆
帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
上傳人：那諾—馬斯特中國(guó)有限公司
大小：0 B
2025
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已咨詢853次磁控濺射系統(tǒng)
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LJ-16離子濺射儀是專用于掃描電鏡（SEM）的樣品噴金鍍膜系統(tǒng)，能夠極為有效的提高電鏡觀測(cè)效果。 操作簡(jiǎn)便，性能優(yōu)越，質(zhì)量穩(wěn)定，功能豐富
108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 描述 108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 主要特性 l 通過(guò)GX低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。 l 操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度。 l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和ZJ的鍍膜效果。 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
整體含濺射主機(jī)和真空系統(tǒng)組成，濺射靶頭被設(shè)置成為一個(gè)二級(jí)濺射結(jié)構(gòu)，通過(guò)均勻恒定的電場(chǎng)激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象，被電離的離子和電子在這個(gè)電場(chǎng)下進(jìn)行加速，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層 配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家： 熱電（美國(guó)原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場(chǎng)發(fā)射、飛納臺(tái)式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國(guó)）鎢絲陰極、場(chǎng)發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺(tái)式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國(guó)“賽科”、COXEM庫(kù)賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。
全自動(dòng)真空離子濺射儀噴金儀 直流濺射鍍膜導(dǎo)電處理優(yōu)勢(shì)看得見：全自動(dòng)微電腦控制，更智能； 專利技術(shù)，1 0秒更換靶材； 樣品臺(tái)內(nèi)置高度調(diào)節(jié)功能，1秒即可調(diào)節(jié)； 內(nèi)置1 0步操作向?qū)В?分鐘即可熟練使用設(shè)備；
全自動(dòng)真空離子濺射儀噴金儀 磁控濺射鍍膜導(dǎo)電處理優(yōu)勢(shì)看得見：全自動(dòng)微電腦控制，更智能； 專利技術(shù)，1 0秒更換靶材； 樣品臺(tái)內(nèi)置高度調(diào)節(jié)功能，1秒即可調(diào)節(jié)； 內(nèi)置1 0步操作向?qū)В?分鐘即可熟練使用設(shè)備；
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