高分辨率、大范圍
采用特別開發(fā)的算法，實現(xiàn)垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實現(xiàn)較高的垂直方向分辨率，即使是大范圍（zui大測量視野6.4 mm × 6.4 mm）的情況下，也能測量納米尺度的粗糙度、高差。

Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）

測量數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性高
高度測量使用干涉條紋，將Z驅(qū)動產(chǎn)生的影響控制在zui小程度，從而實現(xiàn)測量重現(xiàn)性誤差低于0.1%（Phase模式下）。

高速測量
通過以平面捕捉樣品，不對X、Y方向進(jìn)行掃描，從而實現(xiàn)高速測量，并且由于采用非接觸方式，測量時能夠保證不會給樣品帶來損傷。

無損傷測量
對于以往切割樣品后形成截面來對多層膜層結(jié)構(gòu)及層內(nèi)部進(jìn)行的異物測量，VS1800能夠以無損傷方式進(jìn)行。對于透明層結(jié)構(gòu)樣品，利用透鏡的高度坐標(biāo)以及各界面產(chǎn)生的反射光，通過各光學(xué)界面出現(xiàn)的干涉條紋輸出虛擬截面圖像。

測量簡單
搭載有可直觀性使用的操作畫面，可以當(dāng)場確認(rèn)處理后的圖像?？梢院唵蔚貙⑻幚砑胺治鰞?nèi)容列表、生成原始分析庫、重復(fù)使用分析庫等。還支持?jǐn)?shù)據(jù)的批量處理，統(tǒng)一管理多個樣品及分析結(jié)果，減輕繁雜的后處理程序。
此外，導(dǎo)入表面形貌評估方法的國際標(biāo)準(zhǔn)ISO25178的項目，自動按每個樣品選擇合適的參數(shù)。VS1800搭載有可對參數(shù)選擇提供建議的工具，有助于提高管理的精度。

配置靈活
手動XY樣品臺為基本型號Type 1，并提樣品臺電動化逐級提升的Type 2以及Type 3。各型號的升級可通過需求來進(jìn)行，根據(jù)用途輕松引進(jìn)系統(tǒng)