一個(gè)微觀厚度測(cè)量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測(cè)量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測(cè)量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點(diǎn)，進(jìn)行快速自動(dòng)化測(cè)量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可zui多一次放在15個(gè)樣品進(jìn)行批量自動(dòng)化測(cè)量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

EPS防爆片刻痕深度測(cè)量?jī)x技術(shù)規(guī)格書(shū)

一、產(chǎn)品介紹：

EPS-2T刻痕測(cè)厚儀是一款微觀測(cè)厚領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品，采用白光光譜技術(shù)精 準(zhǔn)定位獲得樣品表面信息，通過(guò)上下同心鏡頭對(duì)被測(cè)點(diǎn)的絕 對(duì)位置，zui終獲得精 準(zhǔn)測(cè)量數(shù)據(jù)；設(shè)備同時(shí)還具備宏觀成像導(dǎo)航功能，根據(jù)實(shí)時(shí)圖像任意選擇被測(cè)量，為光譜鏡頭提供導(dǎo)航及坐標(biāo)定位。

EPS-2T特點(diǎn)：其是一個(gè)微觀厚度測(cè)量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測(cè)量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測(cè)量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點(diǎn)，進(jìn)行快速自動(dòng)化測(cè)量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可zui多一次放在15個(gè)樣品進(jìn)行批量自動(dòng)化測(cè)量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

產(chǎn)品能力：

可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的多點(diǎn)掃描或線掃描及陣列掃描，一次性數(shù)據(jù)采集后通過(guò)專業(yè)光譜影像復(fù)合軟件計(jì)算， 實(shí)時(shí)對(duì)厚度測(cè)量判定；

本光譜測(cè)頭系統(tǒng), 完全非接觸式測(cè)量，保護(hù)工件免受劃痕；

全花崗石結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，高精度花崗石底座，立柱，保證機(jī)器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性；

精密絲杠傳動(dòng)，高速，無(wú)間隙，靈敏可靠，定位準(zhǔn)確，運(yùn)動(dòng)精度高；

海康 高分辨率 CCD，高清晰度的影像效果，保證測(cè)量時(shí)高品質(zhì)的畫(huà)面；

伺服閉環(huán)控制,鼠標(biāo)或搖桿操控，全自動(dòng) CNC 功能： 自動(dòng)對(duì)焦， 自動(dòng)量測(cè)， 自動(dòng)尋邊，

自動(dòng)燈光調(diào)整，保證測(cè)量高效率。

專 利多重空間燈光照明系統(tǒng)：在面對(duì)某些特殊被測(cè)量物時(shí)，利用不同光線效果，

能更精 準(zhǔn)地抓取產(chǎn)品尺寸，達(dá)到上光源精 準(zhǔn)測(cè)量時(shí)的高重復(fù)精度.

二、技術(shù)參數(shù)：

三、測(cè)試原理：

EPS-2T是一款高性能復(fù)合式雙激光全自動(dòng)測(cè)厚儀，采用亞納米級(jí)白光光譜對(duì)焦原理，對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行上下面同心高精度對(duì)焦，來(lái)獲取精確的樣品厚度。

測(cè)試方法：

EPS-2T通過(guò)光學(xué)圖像導(dǎo)航系統(tǒng)進(jìn)行光學(xué)成像、圖像導(dǎo)航、坐標(biāo)定位、軟件編程、設(shè)定測(cè)試點(diǎn)位/數(shù)量。白光雙鏡頭通過(guò)定位進(jìn)行快速自動(dòng)化測(cè)量形成厚度數(shù)據(jù)。

四、儀器結(jié)構(gòu)：

五、儀器測(cè)量方法機(jī)器結(jié)構(gòu)介紹

結(jié)構(gòu)介紹：設(shè)備主體結(jié)構(gòu)平臺(tái)、Z軸支架均有大理石制成，是實(shí)現(xiàn)設(shè)備高精度/重復(fù)性的保證。設(shè)備主題有一組配置上下LED光源及同軸光光源的光學(xué)自動(dòng)變倍鏡頭、上下同心雙光譜鏡頭組成，XY自動(dòng)掃描臺(tái)、Z自動(dòng)變焦、高清CCD集合而成的一套高精度光學(xué)系統(tǒng)。

測(cè)試方法：

光學(xué)鏡頭A進(jìn)行圖像識(shí)別、設(shè)定測(cè)試點(diǎn)位、編程被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)。
白光光譜鏡頭B/B1雙鏡頭，通過(guò)光學(xué)鏡頭導(dǎo)航點(diǎn)位進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量！

測(cè)試方法：

 方法一、導(dǎo)入防爆片產(chǎn)品圖紙，確定測(cè)試位置坐標(biāo)，光譜鏡頭根據(jù)坐標(biāo)定位找點(diǎn)，上下鏡頭對(duì)接，自動(dòng)測(cè)量、通過(guò)XY軸自動(dòng)移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)批量測(cè)。

 方法二、無(wú)圖紙測(cè)量：對(duì)治具上的防爆片進(jìn)行圖像實(shí)時(shí)成像，選取需要測(cè)試的點(diǎn)群，上下鏡頭對(duì)接，自動(dòng)測(cè)量、通過(guò)XY軸自動(dòng)移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)批量測(cè)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)說(shuō)明：

行業(yè)痛點(diǎn)：防爆片測(cè)量受限于目前傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備的精度、效率、人為干擾等因素影響，無(wú)法對(duì)單一刻痕深度進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量（一般只選擇10-40個(gè)點(diǎn)之間）。所以這些很微觀的點(diǎn)代表整個(gè)樣品的刻痕深度并不科學(xué)。更無(wú)法對(duì)多個(gè)樣品進(jìn)行快速批量檢測(cè)。zui終導(dǎo)致:抽樣量數(shù)量不夠科學(xué)。單樣測(cè)試數(shù)據(jù)不夠科學(xué)。

EPS-2T特點(diǎn)：其是一個(gè)微觀厚度測(cè)量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測(cè)量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測(cè)量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點(diǎn)，進(jìn)行快速自動(dòng)化測(cè)量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可zui多一次放在15個(gè)樣品進(jìn)行批量自動(dòng)化測(cè)量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

六、儀器的維護(hù)與保養(yǎng)：

是一種光、電、機(jī)一體化的精密測(cè)量?jī)x器，需要有經(jīng)常和良好的維護(hù)與保養(yǎng)，以保 持儀器良好的使用狀態(tài)，這樣才可以保持儀器原有的精度和延長(zhǎng)儀器的使和壽命。

1、儀器應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi) (室溫 20℃±5℃，濕度低于 60%) ，避免光學(xué)零件表面污損，金 屬零件生銹，塵埃雜物落入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，影響儀器機(jī)能。

2、儀器使用完畢，工作面應(yīng)隨時(shí)擦拭干凈，zui好再罩上防塵套。

3、儀器的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，應(yīng)定期加潤(rùn)滑油，使機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)順暢，保持良好的使用狀態(tài)。

4、工作臺(tái)玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈，絕不能用有機(jī)溶劑擦拭油漆 表面，否則，會(huì)使油漆表面失去光澤。

5、儀器 LED 光源使用壽命很長(zhǎng)，但當(dāng)有燈泡燒壞時(shí)，仍請(qǐng)通知廠商，由專業(yè)人員為您更換。

6、光譜鏡頭在工作過(guò)程中均為靜態(tài)，非人為/外力因素不會(huì)損壞。

6、儀器精密部件，如影像系統(tǒng)、工作臺(tái)、光學(xué)尺以及 Z 軸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等均需精密調(diào)校，所有調(diào)節(jié)螺 絲與緊固螺絲均已固定，客戶請(qǐng)勿自拆卸，如有問(wèn)題請(qǐng)通知廠商解決， 自行拆卸造成儀器故障或 精度降低，不在保修范圍內(nèi)。

7、計(jì)算機(jī)上測(cè)量軟件，已對(duì)工作臺(tái)與光學(xué)尺的誤差進(jìn)行了精確補(bǔ)償，請(qǐng)勿自行更改，否則，會(huì)產(chǎn) 生錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。

8、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標(biāo)記正確插回并擰緊螺絲，不正確 的接插，輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統(tǒng)。

9、儀器要接地，機(jī)座后面電源接口板有標(biāo)識(shí)，且要求儀器使用方，電源插座要有地線

七、儀器成品圖：

八、產(chǎn)品驗(yàn)收流程

1儀器交貨期：10天

2驗(yàn)收條款：

外觀良好、儀器正常運(yùn)行、按原廠技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收

九、安裝調(diào)試和培訓(xùn)

安裝調(diào)試：客戶指定地點(diǎn)到貨后，三日內(nèi)安排工程師現(xiàn)場(chǎng)拆箱，按照相應(yīng)程序驗(yàn)收和安裝調(diào)試產(chǎn)品。設(shè)備安裝調(diào)試后三日內(nèi)，根據(jù)確定的人數(shù)在客戶所在單位對(duì)所供產(chǎn)品設(shè)備提供詳細(xì)的培訓(xùn)課程，內(nèi)容包括相應(yīng)試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)、設(shè)備原理、設(shè)備要點(diǎn)、設(shè)備操作和設(shè)備日常維護(hù)。

十、質(zhì)量保證和售后服務(wù)

質(zhì)量保證：提供的是原廠生產(chǎn)的產(chǎn)品，符合國(guó)家、行業(yè)的質(zhì)量檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，具有正規(guī)的質(zhì)量保證書(shū)或者合格證。

免費(fèi)質(zhì)保期：我司對(duì)售后產(chǎn)品提供一年保質(zhì)期（易損壞件和消耗性用品除外，自安裝驗(yàn)收合格之日起一年內(nèi)），在保質(zhì)期內(nèi)如非人為因素?fù)p壞，我司將提供免費(fèi)維修或免費(fèi)更換配件。 

響應(yīng)：我方在接到用戶故障通知后8小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，在用戶不能自行維修的情況下，48小時(shí)內(nèi)我方維修工程師到用戶現(xiàn)場(chǎng)維修。

保修期滿之后，賣(mài)方對(duì)設(shè)備的維修僅收取工時(shí)和交通費(fèi)用，涉及設(shè)備相關(guān)配件的更換和購(gòu)買(mǎi)，賣(mài) 方僅收取成本費(fèi)用。

維修站點(diǎn)：FLIR廠家上海辦事處負(fù)責(zé)保修和維修服務(wù)。