日立 EDS Quantax75 TM系列專用光譜儀
日立 Regulus 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM
日立 SU8600 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM
日立 SU5000 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM
日立 SU9000 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM
特點
FlexSEM 1000 II，憑借全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測器，可在加速電壓20 kV下實現(xiàn)4.0 nm的分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面，具有亮度和對焦自動調(diào)節(jié)功能，可以在短時間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外，還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP”，這個功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點，實現(xiàn)zui直觀的視野移動。
盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡，仍可實現(xiàn)4.0 nm的分辨率
憑借獨特的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器（UVD*2），可在低加速/低真空下觀察時實現(xiàn)zui高的畫質(zhì)
全新的用戶界面，無論用戶的熟練程度如何，都可實現(xiàn)高畫質(zhì)和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持觀察時的視野搜索和樣品定位
*1設(shè)置到桌面上時，請將機(jī)體與電源盒分離
*2選項
規(guī)格
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式） |
| 加速電壓 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率） |
| 低真空設(shè)置 | 6～100 Pa |
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲電子槍 |
| 樣品臺 | 3軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° zui大可觀察范圍：直徑64mm（R聯(lián)用）*4 |
| zui大樣品尺寸 | 直徑80 mm（選配：直徑153mm） |
| zui大樣品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 機(jī)體：450（寬度）×640（進(jìn)深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進(jìn)深）×450（高度） mm |
| 選項 |
|
| 軟件 | Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能） |
*PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準(zhǔn)備
*3機(jī)體和電源盒連接時候
*4使用標(biāo)準(zhǔn)支架時
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