美國TED PELLA 208HR高分辨離子濺射儀
英國Cressinglon 自動離子濺射儀 108AUTO108AUTO 自動離子濺射儀
美國TED PELLA 208HR高分辨離子濺射儀
美TED PELLA 108AUTO 自動離子濺射儀 sputter coater
SYSKEY緊湊式濺射系統(tǒng) Compact Sputter
SYSKEY緊湊式熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) Compact Thermal
美國TED PELLA 208HR高分辨離子濺射儀-適用于場發(fā)射掃描電鏡
一、主要特性
。可選擇多種鍍膜材料
。精確的膜厚控制
。樣品臺控制靈活：可對樣品臺進(jìn)行獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動、傾斜控制，保證形貌差異大的樣品也能得到**的鍍膜效果。
。多個樣品座：提供4個樣品座，每個樣品座直徑32mm，可裝載多達(dá)6個小樣品座。
。樣品室?guī)缀慰勺儯?/strong> 樣品室?guī)缀斡糜谡{(diào)節(jié)鍍膜的速率（1.0nm/s ～ 0.002nm/s）
。寬范圍的操作壓力：獨(dú)立的功率和壓力調(diào)節(jié)，氬氣的壓力大小范圍為0.2 - 0.005 mbar。
。緊湊、現(xiàn)代的桌上型設(shè)計(jì)
。操作容易
二、技術(shù)參數(shù)
濺射系統(tǒng) | |
鍍膜頭 | 低電壓平面磁控管 靶材更換快速 環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 靶材調(diào)節(jié)遮擋 |
靶材 | Cr, Pt/Pd (標(biāo)配) |
鍍膜控制 | 微處理器控制 安全互鎖 電流控制與真空度無關(guān) 數(shù)字化可選電流（20，40，60 和 80mA） |
樣品室大小 | 直徑150mm |
樣品臺 | 非重復(fù)的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動，并可手動傾斜0-90° |
模擬計(jì)量 | 真空 Atm - .001mb |
控制方法 | 自動氣體凈化和泄氣功能 自動處理排序 帶有“暫停”功能的數(shù)字計(jì)時器 自動放氣 |
膜厚控制 | MTM-20高分辨膜厚控制儀 |
真空系統(tǒng) | |
結(jié)構(gòu) | 分子渦輪牽引泵和旋葉泵組合， 代替旋葉泵的無油渦旋式真空泵（選配） |
抽真空速度 | 0.1mb 下300 l/min |
抽真空時間 | 1 mbar 至 1 x 10-3mbar |
極限真空 | 1 x 10-5mbar |
桌上型系統(tǒng) | 旋葉泵置于抗震臺上，全金屬真空耦合系統(tǒng) |
膜厚測控儀 | |
MTM-20 | 基于微處理器，4位數(shù)字顯示，復(fù)位按鈕， 6MHz晶體（具有壽命檢查功能），5次/s的更新速率 |
膜厚范圍 | 0.0 - 999.9nm |
分辨率 | 優(yōu)于 0.1nm |
密度范圍 | 0.50 - 30.00gm/cm3 |
修正系數(shù)范圍 | 0.25 - 8.00 |
鍍膜終止范圍 | 膜厚0 - 999.9nm |
系統(tǒng)要求 | |
電氣 | 100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz |
功率 | 550VA（最大） |
氬氣 | 最小純度99.995% |
208HR高分辨離子濺射儀為場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案。
場發(fā)射掃描電鏡觀察時，樣品需鍍上極其薄、無細(xì)晶且均勻的膜層以消除電荷積累，并提高低密度材料的對比度。為了將細(xì)晶的尺寸減小到最小程度，208HR提供了一系列的鍍膜材料，并對膜厚和濺射條件提供無可媲美的控制。
208HR分子渦輪泵高真空系統(tǒng)提供寬范圍的操作壓力，可以對膜層的均勻性和一致性進(jìn)行精確控制，并盡大程度減小充電效應(yīng)。高/低樣品室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使靶材和樣品之間的距離調(diào)節(jié)變得極為方便。
MTM-20高分辨膜厚控制儀分辨率小于0.1nm，其作用是對所鍍薄膜的厚度進(jìn)行精確控制，它尤其適合場發(fā)射電鏡對膜厚（0.5－3nm）的要求。
場發(fā)射掃描電鏡鍍膜推薦的靶材是：
。Pt/Pd：非導(dǎo)電樣品鍍膜的通用鍍膜材料
。Cr：優(yōu)良的半導(dǎo)體樣品的鍍膜材料
。Ir：優(yōu)良的真正無細(xì)晶的鍍膜材料
208HR系統(tǒng)為得到**高分辨鍍膜效果提供了多種配置選擇，可配備標(biāo)準(zhǔn)的旋片泵或提供干凈真空的無油渦旋式真空泵，標(biāo)配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。
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LJ-16離子濺射儀是專用于掃描電鏡（SEM）的樣品噴金鍍膜系統(tǒng)，能夠極為有效的提高電鏡觀測效果。 操作簡便，性能優(yōu)越，質(zhì)量穩(wěn)定，功能豐富
108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 描述 108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 主要特性 l 通過GX低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。 l 操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測定所鍍膜的厚度。 l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和ZJ的鍍膜效果。 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
整體含濺射主機(jī)和真空系統(tǒng)組成，濺射靶頭被設(shè)置成為一個二級濺射結(jié)構(gòu)，通過均勻恒定的電場激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象，被電離的離子和電子在這個電場下進(jìn)行加速，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層 配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家： 熱電（美國原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場發(fā)射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國）鎢絲陰極、場發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。
全自動真空離子濺射儀噴金儀 直流濺射鍍膜導(dǎo)電處理優(yōu)勢看得見：全自動微電腦控制，更智能； 專利技術(shù)，1 0秒更換靶材； 樣品臺內(nèi)置高度調(diào)節(jié)功能，1秒即可調(diào)節(jié)； 內(nèi)置1 0步操作向?qū)В?分鐘即可熟練使用設(shè)備；
全自動真空離子濺射儀噴金儀 磁控濺射鍍膜導(dǎo)電處理優(yōu)勢看得見：全自動微電腦控制，更智能； 專利技術(shù)，1 0秒更換靶材； 樣品臺內(nèi)置高度調(diào)節(jié)功能，1秒即可調(diào)節(jié)； 內(nèi)置1 0步操作向?qū)В?分鐘即可熟練使用設(shè)備；
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