VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片最大尺寸2″，放置樣品的直徑為Φ50mm，加熱溫度達500℃。本機可濺射金、銀、銅三種靶材，并采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜。
主要特點
1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。
2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4、已通過CE認證。
技術(shù)參數(shù)
1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵）
2、輸出功率：1600VDC 50mA（最大電流）
3、石英罩：Φ160mm×120mm
4、樣品臺：Φ50mm（可選購加熱型樣品臺，最高溫度可到500℃；最長濺射時間不可超過5min）
5、真空泵：120L/M旋片式真空泵
6、進氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量
7、靶材：尺寸直徑Φ47mm，厚度0.5mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕
金屬、Al、Zn、C等
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸：360mm×350mm×3600mm
重量：50kg
可選配件
1、KF25真空接口、卡箍
2、不銹鋼波紋管（600mm）
3、旋片式真空泵（120L/M）
4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材
5、加熱型樣品臺
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LJ-16離子濺射儀是專用于掃描電鏡（SEM）的樣品噴金鍍膜系統(tǒng)，能夠極為有效的提高電鏡觀測效果。 操作簡便，性能優(yōu)越，質(zhì)量穩(wěn)定，功能豐富
108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 描述 108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 主要特性 l 通過GX低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。 l 操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測定所鍍膜的厚度。 l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和ZJ的鍍膜效果。 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。
整體含濺射主機和真空系統(tǒng)組成，濺射靶頭被設(shè)置成為一個二級濺射結(jié)構(gòu)，通過均勻恒定的電場激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象，被電離的離子和電子在這個電場下進行加速，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層 配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家： 熱電（美國原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場發(fā)射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國）鎢絲陰極、場發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質(zhì)量、增強導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。
全自動真空離子濺射儀噴金儀 直流濺射鍍膜導(dǎo)電處理優(yōu)勢看得見：全自動微電腦控制，更智能； 專利技術(shù)，1 0秒更換靶材； 樣品臺內(nèi)置高度調(diào)節(jié)功能，1秒即可調(diào)節(jié)； 內(nèi)置1 0步操作向?qū)В?分鐘即可熟練使用設(shè)備；
全自動真空離子濺射儀噴金儀 磁控濺射鍍膜導(dǎo)電處理優(yōu)勢看得見：全自動微電腦控制，更智能； 專利技術(shù)，1 0秒更換靶材； 樣品臺內(nèi)置高度調(diào)節(jié)功能，1秒即可調(diào)節(jié)； 內(nèi)置1 0步操作向?qū)В?分鐘即可熟練使用設(shè)備；
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