正常情況，轉(zhuǎn)速越快，加速度越大，時(shí)間越長，spin的膠厚越??；

勻膠“主要工藝參數(shù)”由轉(zhuǎn)速和時(shí)間決定膠的厚度。

同樣粘度的膠，轉(zhuǎn)速越快膠越薄，但關(guān)系不線性，6000轉(zhuǎn)/分之后減薄較慢了。

較低轉(zhuǎn)速時(shí)外界環(huán)境會影響均膠質(zhì)量，所以不建議用低速獲得厚膠，而太高的轉(zhuǎn)速長期工作也會影響機(jī)器壽命。

一般勻膠工藝使用轉(zhuǎn)速3000~6000之間，膜厚的穩(wěn)定性較好。

影響膜厚均勻性的因素主要有：環(huán)境溫度、環(huán)境濕度、排風(fēng)凈壓力、光刻膠溫度、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的精度和和重復(fù)性，預(yù)旋轉(zhuǎn)的速度，噴膠狀況和回吸量等因素，環(huán)境溫度的變化大大影響了圓片表面的涂膠均勻性。