【概述】

 為什么選用主動(dòng)的隔振控制系統(tǒng)？

ü 優(yōu)越的低頻隔振效率。（具體效率請(qǐng)見(jiàn)紅藍(lán)隔振曲線圖）

ü 主動(dòng)“Hard-Mount”架構(gòu)提供了比被動(dòng)氣浮隔離器快10倍的穩(wěn)定時(shí)間。（黑色穩(wěn)定速度曲線圖）

ü 避免氣浮系統(tǒng)重力不穩(wěn)定的風(fēng)險(xiǎn)。

ü 可以與任何設(shè)備自帶的隔離系統(tǒng)“堆疊串聯(lián)”。

通常情況下一套STACIS?隔振系統(tǒng)由3或4個(gè)隔振器加上數(shù)字控制器組成：

每個(gè)隔振器有三種負(fù)載能力的版本可供選擇:

– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

對(duì)于尺寸較大的平臺(tái)系統(tǒng)，可以將多個(gè)STACIS系統(tǒng)組合為一個(gè)操作系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)整體的隔振。

STACIS III 通常會(huì)配置層壓鋼板平臺(tái)和底座支架來(lái)調(diào)整適配高度。

兩種典型的配置方式：

? 安裝在混凝土地板上：普通實(shí)驗(yàn)室環(huán)境， 通常可以為需要獲得極低的系統(tǒng)高度時(shí)做特殊設(shè)計(jì)。

? 安裝在高架地板上：通常應(yīng)用于潔凈室中。

 應(yīng)用案例：

 1.附帶Lift hood 的STACIS 2100：應(yīng)用于UHV-STM超高真空掃描隧道顯微鏡

? 配置3-Mount STACIS系統(tǒng)

? 有效降低總體高度的left-hood設(shè)計(jì)

2.應(yīng)用于CAMECA LEAP 4000X掃描探針顯微鏡

? 帶有層壓鋼板和Lift Hoods

? 4-Mount STACIS系統(tǒng)

3. 應(yīng)用于FEI Titan G2 TF30和Titan 80 TEM

? 4-mount STACIS系統(tǒng)

? 配置升高支架

4.應(yīng)用于FEI Titan Cubed TEM立方透射電鏡

? 7-Mount STACIS 系統(tǒng)

? 4- Mount嵌套式平臺(tái)設(shè)計(jì)，更好地隔離電鏡隔音外殼的共振。

3- Mount 主動(dòng)HT Tank隔振，大限度的減少通過(guò)電纜傳導(dǎo)到主機(jī)的地板振動(dòng)

6. 針對(duì)SEM的集成版產(chǎn)品-STACIS IX SEM-Base

? 一款采用STACIS技術(shù)、結(jié)構(gòu)緊湊、性價(jià)比高的SEM解決方案

? 適用于大多數(shù)SEM設(shè)備

? 不干擾電子顯微鏡內(nèi)部隔離器的工作

? 安裝時(shí)配置TMC的SEM-Ramp和SEM-Lift，便捷就位。

7.主動(dòng)&被動(dòng)串聯(lián)隔振產(chǎn)品-STACIS iX LaserTableBase

? 結(jié)合STACIS壓電隔振在低頻率的良好性能和Maxdamp氣浮隔振在高頻率的性能。

? 高低頻隔振的串聯(lián)使其隔振性能全頻優(yōu)越。

? 主動(dòng)帶寬0.6 Hz -150 Hz,  150Hz以上由氣浮隔振接管。