本方案能讓平常只能在常溫下進(jìn)行樣品電測(cè)試的探針臺(tái)，增加樣品溫控的功能這樣有幾個(gè)好處： 一成本低在探針臺(tái)上多加個(gè)高低溫晶圓夾盤/溫控晶圓卡盤就能做溫控條件下樣品探針測(cè)試，相當(dāng)于一個(gè)溫控探針臺(tái)； 二技術(shù)權(quán)威Instec冷熱臺(tái)控溫好，-190~600上下通吃，穩(wěn)定性不差于0.05，臺(tái)面溫度低梯度，表面粗糙度低臺(tái)面能接地能電懸空，設(shè)備還能通3軸接口這是出自美國名?？屏_拉多大學(xué)的Instec其30年經(jīng)驗(yàn)歷史保證； 美國Instec 圓形高低溫/溫控晶圓夾盤/卡盤系列/探針臺(tái)用 美國Instec 方形高低溫/溫控晶圓夾盤/卡盤系列/探針臺(tái)用 美國Instec HCC302高低溫/溫控晶圓夾盤/卡盤系列/探針臺(tái)用 美國Instec HCC602高溫溫控晶圓夾盤/卡盤系列/探針臺(tái)用 美國Instec TC102S TC104S 半導(dǎo)體溫控晶圓夾盤/卡盤系列/探針臺(tái)用