制備多晶硅時，用液氨法在低溫下產(chǎn)生的硅烷，除主成份Sil 外，尚臺H 微 NH sizH BcH HzoozN：PH，以及痕量的B H 和A sH等雜質(zhì)，而其中有些雜質(zhì)， 如CH．H zONz等，主要由液氨帶入因此，要加強原材料的分析，嚴格監(jiān)控 藝過程 中硅烷氣內(nèi)的有害雜質(zhì)，采取必要的純化措施這樣，將大大提高由分解爐中析出的多晶硅 質(zhì)量采用氣相色譜法分析硅烷及其雜質(zhì)，由于它具有快速 靈敏準確進樣量少等優(yōu)點， 正逐步被人們采用 本文主要介紹我們工作中用來分析SIH 及其CH 氦離子化氣相色譜儀