橢圓偏振顯微實時成像分析技術是在傳統(tǒng)的消光（null）和離消光（off-null）橢圓偏振法基礎上，結合數(shù)字處理技術發(fā)展出來的旨在實時獲取納米尺度結構的表面或界面信息和紀錄快速動力學過程的測量和顯示技術 通過把橢圓偏振法與顯微鏡法相結合，橢偏光學成相系統(tǒng)保留了傳統(tǒng)橢偏法對厚度測量具有高靈敏度的優(yōu)點，并且具有測量面積大取樣速度快橫向分辨率高和結果直觀等優(yōu)點其平面精度已經(jīng)能夠達到1µm，立體精度已提高到0.1nm，為其進入到生物分析和微電子等新的研究區(qū)域提供了可能 橢圓偏振儀/成相系統(tǒng)/橢偏儀