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【概述】
一套完整的光纖對(duì)準(zhǔn)解決方案是對(duì)準(zhǔn)器械、控制電子產(chǎn)品、軟件和系統(tǒng)的集成。MKS能夠提供其中所需的任何組件、軟件和專業(yè)知識(shí)。
運(yùn)動(dòng)控制 光分析 光學(xué)元件 光學(xué)平臺(tái) 其他
典型光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)要求
研發(fā) | 有限自動(dòng)化 | 小批量 | 大批量 | |
對(duì)準(zhǔn)精度和 zui小位移增量 | 1 微米 | 200 納米 | 100納米 | 50至100納米 |
速度/生產(chǎn)周期 | 幾分鐘 (通常取決于用戶) | 幾秒或幾分鐘 (通常取決于用戶) | 幾秒鐘 | 幾秒鐘 |
重復(fù)精度 | 不太關(guān)鍵 (通常取決于用戶) | 幾百納米 | 幾百納米 | <100 納米 |
MTBF/可靠性 | 不太關(guān)鍵 | 幾千小時(shí) | 幾千小時(shí) | >10,000小時(shí) |
電動(dòng)和手動(dòng)位移臺(tái)
電動(dòng)位移臺(tái)
電動(dòng)位移臺(tái), 由電磁電機(jī)驅(qū)動(dòng),常用于生產(chǎn)環(huán)境,以實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)流程的自動(dòng)化。它們通常具有亞微米級(jí) MIM 和重復(fù)定位精度,能夠極大地提高使用這些平移臺(tái)組裝的電信設(shè)備的質(zhì)量和性能。在 MKS,我們保證所發(fā)布產(chǎn)品的性能指標(biāo)。所有平移臺(tái)都會(huì)經(jīng)過出廠測(cè)試,符合或優(yōu)于保證指標(biāo),典型指標(biāo)優(yōu)于保證值約2 倍。
l XM 系列:嚴(yán)苛的制造和測(cè)試、測(cè)量應(yīng)用的Zzhong解決方案。
l MLT 系列:經(jīng)濟(jì)款緊湊型高性能解決方案。
l VP 系列:專為光纖對(duì)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的模塊化緊湊型系統(tǒng)。
l VP-Z 垂直平移臺(tái):可從任何一側(cè)輕松接觸負(fù)載(VP XYZ 堆疊的薄型替代品)。

行程范圍 | 50-350 mm | 25-250 mm | 25 mm | 4.8 mm |
zui小位移增量 | 1 nm | 5 nm | 10或100 nm | 60 nm |
定位精度 | ±0.2至±0.5 μm | ±0.3至±3 μm | ±0.4至±0.5 μm | ±0.6 μm |
重復(fù)定位精度 | ±0.03至±0.035 μm | ±0.15 μm | ±0.05至±0.06 μm | ±0.1 μm |
zui大速度 | 300 mm/s | 500 mm/s | 25 mm/s | 5 mm/s |
其他特性 | 無鐵芯直線電機(jī) | 高扭矩直線電機(jī) | 小巧、緊湊、輕便 | 無障礙接觸運(yùn)動(dòng)平臺(tái) |
用途 | ? 大批量 | ? 小批量 | ? 研發(fā) | ? 研發(fā) |
六足位移臺(tái)是一種并聯(lián)運(yùn)動(dòng)機(jī)械裝置,使用六個(gè)共同并行移動(dòng)的促動(dòng)器,能夠在笛卡爾坐標(biāo)系中提供六軸運(yùn)動(dòng)范圍。所有軸的移動(dòng)相互依賴,意味著一個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)會(huì)降低其他軸的行程。六足位移臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)線性和角度運(yùn)動(dòng)的復(fù)雜組合,對(duì)關(guān)鍵的旋轉(zhuǎn)調(diào)整特別有用。
l HXP 六足位移臺(tái): 需要六個(gè)自由度時(shí)的解決方案。
HXP50 六足位移臺(tái) | X | Y | Z | ΘX | ΘY | ΘZ | |
行程范圍 | ±17 mm | ±15 mm | ±17 mm | ±9° | ±8.5° | ±18° |
|
Z小位移增量 | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.05 μm | 0.05 mdeg | 0.05 mdeg | 0.1 mdeg | |
重復(fù)定位精度 | ±0.6 μm | ±0.6 μm | ±0.3 μm | ±0.3 mdeg | ±0.3 mdeg | ±0.6 mdeg | |
Z大速度 | 14 mm/s | 12 mm/s | 5 mm/s | 6°/s | 6°/s | 15°/s | |
其他特性 | 50N 載重能力,無移動(dòng)電纜 | ||||||
用途 | ? 大批量 | ||||||

壓電位移臺(tái)
壓電多軸對(duì)準(zhǔn)器 是緊湊的四軸到六軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),由壓電促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。這類促動(dòng)器具有 30 nm 線性分辨率,非常適合研發(fā)應(yīng)用中對(duì)準(zhǔn)定位的遠(yuǎn)程控制。這些多軸電動(dòng)位移臺(tái)可以進(jìn)行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同組合的高分辨率 (< 30 nm) 調(diào)整。這些多軸電動(dòng)位移臺(tái)可以進(jìn)行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同組合的高分辨率 (< 30 nm) 調(diào)整。

手動(dòng)位移臺(tái)
在機(jī)械結(jié)構(gòu)方面,手動(dòng)位移臺(tái)是能夠提供精確線性或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的簡(jiǎn)單、成本zui低的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。它們Z常用于學(xué)術(shù)研究或工業(yè)研發(fā)中心,小批量生產(chǎn)環(huán)境中偶爾也會(huì)使用。推薦的 ULTRAlign? 系列還可以通過添加NSA12或TRA電動(dòng)促動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)電動(dòng)運(yùn)行。
l ULTRAlign? 光纖對(duì)準(zhǔn)位移臺(tái): 提供精確、穩(wěn)定和可靠的光纖對(duì)準(zhǔn)。
l 466A 系列 光纖對(duì)準(zhǔn)位移臺(tái):提供精確、穩(wěn)定和可靠的光纖對(duì)準(zhǔn)。
ULTRAlign? 線性平移 | ULTRAlign? 傾斜和旋轉(zhuǎn) | ||||||
X | Y | Z | ΘX | ΘY | ΘZ | ||
行程范圍 | 0, 6或 13 mm | 13 mm | 6或13 mm | ±10° | ±5°或 +2°/-1.5° | ±5°或 +10°/-7° |
|
其他特性 | 不銹鋼 | ||||||
用途 | ? 研發(fā) | ||||||
466A 平移臺(tái) | X | Y | Y | |
行程范圍 | 2 mm | 2 mm | 2 mm |
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其他特性 | 撓性定位機(jī)制 | |||
用途 | ? 研發(fā) | |||
光功率計(jì)和探測(cè)器
光學(xué)探測(cè)器用于測(cè)量光束的功率。與功率計(jì)搭配使用時(shí),它們能夠監(jiān)控光信號(hào)并探測(cè)zui高發(fā)射功率。
光纖探測(cè)器
818 系列:光電二極管探測(cè)器,采用具有zui低不確定性的可互換光纖適配器。
818 系列 | InGaAs | Si | |
光譜范圍 | 800-1650 nm | 400-1100 nm |
|
傳感器尺寸 | ?3 mm | ?11.3 mm | |
Z小可測(cè)量功率 | 20 pW | ||
Z大可測(cè)量功率 | 10 mW | 5 mW | |
上升時(shí)間 | ≤2 μs | ||
校準(zhǔn)不確定性 | ±1% 至 ±4% (無衰減器) | ||
其他特性 | 可互換光纖適配器 | ||
用途 | ? 研發(fā) | ||

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