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應(yīng)用方案

儀器網(wǎng)/ 應(yīng)用方案/ 光纖對(duì)準(zhǔn)解決方案推薦產(chǎn)品

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【概述】

一套完整的光纖對(duì)準(zhǔn)解決方案是對(duì)準(zhǔn)器械、控制電子產(chǎn)品、軟件和系統(tǒng)的集成。MKS能夠提供其中所需的任何組件、軟件和專業(yè)知識(shí)。

運(yùn)動(dòng)控制   光分析   光學(xué)元件   光學(xué)平臺(tái)   其他

 

典型光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)要求


研發(fā)

有限自動(dòng)化

小批量

大批量

對(duì)準(zhǔn)精度和

zui小位移增量

1 微米

200 納米

100納米

50至100納米

速度/生產(chǎn)周期

幾分鐘

(通常取決于用戶)

幾秒或幾分鐘

(通常取決于用戶)

幾秒鐘

幾秒鐘

重復(fù)精度

不太關(guān)鍵

(通常取決于用戶)

幾百納米

幾百納米

<100 納米

MTBF/可靠性

不太關(guān)鍵

幾千小時(shí)

幾千小時(shí)

>10,000小時(shí)

 

電動(dòng)和手動(dòng)位移臺(tái)

電動(dòng)位移臺(tái)

電動(dòng)位移臺(tái), 由電磁電機(jī)驅(qū)動(dòng),常用于生產(chǎn)環(huán)境,以實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)流程的自動(dòng)化。它們通常具有亞微米級(jí) MIM 和重復(fù)定位精度,能夠極大地提高使用這些平移臺(tái)組裝的電信設(shè)備的質(zhì)量和性能。在 MKS,我們保證所發(fā)布產(chǎn)品的性能指標(biāo)。所有平移臺(tái)都會(huì)經(jīng)過出廠測(cè)試,符合或優(yōu)于保證指標(biāo),典型指標(biāo)優(yōu)于保證值約2 倍。

 

XM 系列:嚴(yán)苛的制造和測(cè)試、測(cè)量應(yīng)用的Zzhong解決方案。

MLT 系列:經(jīng)濟(jì)款緊湊型高性能解決方案。

VP 系列:專為光纖對(duì)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的模塊化緊湊型系統(tǒng)。

VP-Z 垂直平移臺(tái):可從任何一側(cè)輕松接觸負(fù)載(VP XYZ 堆疊的薄型替代品)。

QQ截圖20220418133403.jpg

行程范圍

50-350 mm

25-250 mm

25 mm

4.8 mm

zui小位移增量

1 nm

5 nm

10或100 nm

60 nm

定位精度

±0.2至±0.5 μm

±0.3至±3 μm

±0.4至±0.5 μm

±0.6 μm

重復(fù)定位精度

±0.03至±0.035 μm

±0.15 μm

±0.05至±0.06 μm

±0.1 μm

zui大速度

300 mm/s

500 mm/s

25 mm/s

5 mm/s

其他特性

無鐵芯直線電機(jī)

高扭矩直線電機(jī)

小巧、緊湊、輕便

無障礙接觸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

用途

? 大批量

? 小批量
? 大批量

? 研發(fā)
? 有限自動(dòng)化
? 小批量
? 大批量

? 研發(fā)
? 有限自動(dòng)化
? 小批量
? 大批量



六足位移臺(tái)是一種并聯(lián)運(yùn)動(dòng)機(jī)械裝置,使用六個(gè)共同并行移動(dòng)的促動(dòng)器,能夠在笛卡爾坐標(biāo)系中提供六軸運(yùn)動(dòng)范圍。所有軸的移動(dòng)相互依賴,意味著一個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)會(huì)降低其他軸的行程。六足位移臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)線性和角度運(yùn)動(dòng)的復(fù)雜組合,對(duì)關(guān)鍵的旋轉(zhuǎn)調(diào)整特別有用。

 

HXP 六足位移臺(tái): 需要六個(gè)自由度時(shí)的解決方案。

HXP50

六足位移臺(tái)

X

Y

Z

ΘX

ΘY

ΘZ


行程范圍

±17 mm

±15 mm

±17 mm

±9°

±8.5°

±18°

圖片1.png 

Z小位移增量

0.1 μm

0.1 μm

0.05 μm

0.05 mdeg

0.05 mdeg

0.1 mdeg

重復(fù)定位精度

±0.6 μm

±0.6 μm

±0.3 μm

±0.3 mdeg

±0.3 mdeg

±0.6 mdeg

Z大速度

14 mm/s

12 mm/s

5 mm/s

6°/s

6°/s

15°/s

其他特性

50N 載重能力,無移動(dòng)電纜

用途

? 大批量

QQ截圖20220418133607.jpg

壓電位移臺(tái)

壓電多軸對(duì)準(zhǔn)器 是緊湊的四軸到六軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),由壓電促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。這類促動(dòng)器具有 30 nm 線性分辨率,非常適合研發(fā)應(yīng)用中對(duì)準(zhǔn)定位的遠(yuǎn)程控制。這些多軸電動(dòng)位移臺(tái)可以進(jìn)行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同組合的高分辨率 (< 30 nm) 調(diào)整。這些多軸電動(dòng)位移臺(tái)可以進(jìn)行 X、Y、Z、θx、θy 和 θz 不同組合的高分辨率 (< 30 nm) 調(diào)整。

圖片2.png

 

手動(dòng)位移臺(tái)

在機(jī)械結(jié)構(gòu)方面,手動(dòng)位移臺(tái)是能夠提供精確線性或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的簡(jiǎn)單、成本zui低的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。它們Z常用于學(xué)術(shù)研究或工業(yè)研發(fā)中心,小批量生產(chǎn)環(huán)境中偶爾也會(huì)使用。推薦的 ULTRAlign? 系列還可以通過添加NSA12或TRA電動(dòng)促動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)電動(dòng)運(yùn)行。

ULTRAlign? 光纖對(duì)準(zhǔn)位移臺(tái): 提供精確、穩(wěn)定和可靠的光纖對(duì)準(zhǔn)。

466A 系列 光纖對(duì)準(zhǔn)位移臺(tái):提供精確、穩(wěn)定和可靠的光纖對(duì)準(zhǔn)。


ULTRAlign? 線性平移

ULTRAlign? 傾斜和旋轉(zhuǎn)



X

Y

Z

ΘX

ΘY

ΘZ


行程范圍

0, 6或

13 mm

13 mm

6或13 mm

±10°

±5°或

+2°/-1.5°

±5°或 +10°/-7°

圖片3.png 

其他特性

不銹鋼
左手或右手配置
多種配件

用途

? 研發(fā)
? 有限自動(dòng)化

466A 平移臺(tái)

X

Y

Y


行程范圍

2 mm

2 mm

2 mm

圖片4.png 

其他特性

撓性定位機(jī)制
左手或右手配置
多種配件

用途

? 研發(fā)
? 有限自動(dòng)化

光功率計(jì)和探測(cè)器

光學(xué)探測(cè)器用于測(cè)量光束的功率。與功率計(jì)搭配使用時(shí),它們能夠監(jiān)控光信號(hào)并探測(cè)zui高發(fā)射功率。

 

光纖探測(cè)器

818 系列:光電二極管探測(cè)器,采用具有zui低不確定性的可互換光纖適配器。

818 系列

InGaAs

Si


光譜范圍

800-1650 nm

400-1100 nm

圖片5.png 

傳感器尺寸

?3 mm

?11.3 mm

Z小可測(cè)量功率

20 pW

Z大可測(cè)量功率

10 mW

5 mW

上升時(shí)間

≤2 μs

校準(zhǔn)不確定性

±1% 至 ±4% (無衰減器)

其他特性

可互換光纖適配器

用途

? 研發(fā)
? 有限自動(dòng)化
? 小批量
? 大批量

QQ截圖20220418133803.jpg



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