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儀器網/ 應用方案/ 上海伯東普發(fā)渦輪分子泵組脈沖激光沉積系統(tǒng)應用

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伯東公司成立于1953年,范圍內有一千七百名員工伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備電子零部件加工銷售及相關服務工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣伯東公司在國內主要城市:北京蘇州廣州深圳成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點上海伯東真空產品事業(yè)部秉承為廣大ZG客戶提供世界yi流的真空產品推動ZG真空工藝發(fā)展承擔企業(yè)社會責任為經營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務,覆蓋工業(yè)半導 脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition, PLD),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質沉淀在不同的襯底上, 得到沉淀或者薄膜的一種手段. PLD 系統(tǒng)由多個真空腔體組成,整個系統(tǒng)需要超高真空且不能引入任何雜質,對環(huán)境的清潔度要求較高,必須配備無油干泵和分子泵抽真空由于各個輔助腔體體積較小, 因此特別適合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵組. 伯東公司銷售維修的 Pfeiffer 分子泵組因其結構緊湊體積小,清潔無油(前級泵配備干泵)抽速快極限真空度高達10-11mbar等優(yōu)點一經上市好評如潮 伯東普發(fā)經濟型分子泵組 HiCube 80 Eco 伯東Pfeiffer 分子泵 Hipace 700 伯東德國普發(fā)分子泵Hipace 300

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