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在工業(yè)和研究中,高精度表面分析發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,它可以幫助確保材料和組件實現(xiàn)令人滿意的性能,但同時也面臨著諸多挑戰(zhàn):表面結(jié)構(gòu)錯綜復(fù)雜,高傾斜度區(qū)域要求橫向分辨率達(dá)到數(shù)微米,而關(guān)鍵性微觀峰谷要求垂直分析達(dá)到亞納米級。雖然共聚焦顯微技術(shù)可以提供高橫向分辨率,但要實現(xiàn)亞納米級垂直分辨率,則需要干涉測量技術(shù)。
因此,我們將這兩種測量技術(shù)相結(jié)合,推出了多功能高速3D表面測量系統(tǒng)leia DCM8一為您的所有測量觀察任務(wù)提供一站式解決方案。
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