ESPion高級Langmuir探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速可靠極ng確地進(jìn)行等離子體診斷,是Zxian極n可靠的 Langmuir 探針
應(yīng)用:
· 蝕刻/沉積/ 清潔等離子體
· 脈沖等離子體操作
· 離子密度 (Ni & Gi)
· 電子溫度(Te & EEDF)
· 電子密度(Ne)
· 等離子體電位
· Debye 長度,懸浮電位
http://www.hiden.com.cn/admin/productsm.asp?ArticleID=72&classID=9 高級朗繆爾探針(Langmuir Probe)
參與評論
登錄后參與評論