本文介紹了一種使用Agilent 7500cs ICP-MS 測(cè)定光伏級(jí)硅中存在的超痕量元素雜質(zhì)的新型定量方法。硼（揮發(fā)性元素）和磷（受Si 基干擾）對(duì)該行業(yè)尤其重要；因此，為了利用ICP-MS 分析這些元素，應(yīng)特別注意樣品預(yù)處理階段。在驗(yàn)證樣品前處理策略的過(guò)程中，所有元素均獲得了良好的回收率。提供了13 種不同Si 樣品中存在的一系列元素的示例數(shù)據(jù)，以及檢測(cè)限列表?？梢詼y(cè)定固體中低至ppb 級(jí)的B 和P，并可以測(cè)量ppt 級(jí)所研究的其他元素。