超純氣體一詞是在1964年全國超純氣體測試年會上定義的,即凡氣體純度達5個9(99.999%)以上，總雜質(zhì)為10x10-6V/V(即10ppm)以下的氣體皆屬超純氣體范疇但五十年的發(fā)展已經(jīng)改變了這一定義;已經(jīng)把5個9氣體稱為高純氣，而稱6個9以上純度氣體才為超純氣純度大于99%以上的氣體純度分析都采用扣除雜質(zhì)的差減法計算，因而氣體純度分析實際是對氣體中微量或痕量的雜質(zhì)氣體檢測因其檢測方法很多，本文不全面論述，僅對氣相色譜儀檢測雜質(zhì)氣體的現(xiàn)狀作一小結，并對某些概念上的認識提出看法水分也是一種雜質(zhì)氣體，而且是極為特殊的又無處不在的氣體雜質(zhì)，因檢測手段特殊，本文也不予論述 內(nèi)容中提出的高純氣體分析中出現(xiàn)的本底Z小檢測濃度和定量與誤差，都是痕量分析中的理論問題也是實際問題這里不敘述理論的推導，但用理論解決問題，主要就實際中的認識問題ZD論述，歡迎參加討論 氣相色譜儀 Agilent 7890A氣相色譜儀 SP-3400型氣相色譜儀 GC7820A 氣相色譜儀 SP-2100A氣相色譜儀 SP-3430氣相色譜儀