【概述】

本文介紹了客戶(hù)使用ILX Lightwave設(shè)備搭建了激光器的測(cè)試平臺(tái)，整套系統(tǒng)可以用于分析激光器的電流電壓（I-V特性）、電光(L-I)特性、光譜等信息，來(lái)評(píng)估激光器的性能。

ILX Lightwave作為世界半導(dǎo)體激光器測(cè)試系統(tǒng)制造商。隨著光電行業(yè)的快速發(fā)展，ILX為諸多客戶(hù)提供了半導(dǎo)體激光器的精密測(cè)量和控制儀器，所涉及的全系列配套設(shè)備如圖1所示?？偟膩?lái)說(shuō)，ILX儀器性能穩(wěn)定，技術(shù)成熟，正在深入挖掘客戶(hù)的更深層次的需求，已經(jīng)成為全世界科研和工業(yè)客戶(hù)針對(duì)半導(dǎo)體激光控制器的供應(yīng)商。

圖1 半導(dǎo)體激光控制器全系列設(shè)備

【實(shí)驗(yàn)/設(shè)備條件】

以硅基電泵浦InAs量子點(diǎn)激光器為例，激光器測(cè)試平臺(tái)搭建的關(guān)鍵是保證光學(xué)元器件在實(shí)際工作時(shí)封裝工藝具備極好的測(cè)試性能。實(shí)驗(yàn)采用的InAs量子點(diǎn)激光器結(jié)構(gòu)是基于外延生長(zhǎng)方式，激光器的材料均一并且穩(wěn)定?？蛻?hù)搭建了電泵激光器的測(cè)試系統(tǒng)和封裝工藝，平臺(tái)所需的ILX儀器如下表所示：

實(shí)驗(yàn)測(cè)試平臺(tái)如圖2所示，激光器放置在Mount夾具。測(cè)試平臺(tái)由三部分組成：電流驅(qū)動(dòng)部分、數(shù)據(jù)采集部分和溫控部分。其中溫控裝置主要由位移臺(tái)（Manual Stage），半導(dǎo)體制冷片（Peltier），溫度探測(cè)器 (熱敏電阻Thermistor)和溫度控制器（ILX Lightwave）組成。溫度控制器連接著熱敏電阻和半導(dǎo)體制冷片，通過(guò)溫度控制器調(diào)整小熱沉的溫度，熱敏電阻緊靠器件邊緣，保證溫度反饋的精度。

為了保證激光器電流及溫控信息的輸入，將激光器使用膠水固定到激光器TEC/Mount夾具上。由LDT-5545B溫度控制器設(shè)定目標(biāo)溫度，使用探針接觸到激光器的正負(fù)電極，使用LDP-3830或LDX-3545B激光驅(qū)動(dòng)器為激光二極管提供電流輸入，在不斷調(diào)整電流閾值的整個(gè)過(guò)程中使用功率計(jì)實(shí)時(shí)記錄激光器光功率，測(cè)試其電流對(duì)輸出功率的曲線(xiàn)。另外使用多模光纖將激光器的光耦合到光譜儀，進(jìn)而激光器的光譜信息。

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