原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope ，AFM），一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器它通過檢測待測樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)將一對微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時(shí)它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化掃描樣品時(shí)，利用傳感器檢測這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級(jí)分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息 它主要由帶針尖的微懸臂微懸臂運(yùn)動(dòng)檢測裝置監(jiān)控其運(yùn)動(dòng)的反饋回路使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描器件計(jì)算機(jī)控制的圖像采集顯示及處理系統(tǒng)組成微懸臂運(yùn)動(dòng)可用如隧道電流檢測等電學(xué)方法或光束偏轉(zhuǎn)法干涉法等光學(xué)方法檢測，當(dāng)針尖與樣品充分接近相互之間存在短程相互斥力時(shí)，檢測該斥力可獲得表面原子級(jí)分辨圖像，一般情況下分辨率也在納米級(jí)水平AFM測量對樣品無特殊要求，可測量固體表面吸附體系等 掃描探針顯微鏡用高精密主動(dòng)減震平臺(tái) Halcyonics Workstations掃描電鏡主動(dòng)減震工作臺(tái)-德國 Halcyonics Sandwich主動(dòng)減震平臺(tái) Halcyonics Workstations主動(dòng)減震工作臺(tái) Halcyonics Nano系列微型減震臺(tái)-德國