- 2025-01-21 09:32:30rie刻蝕
- RIE刻蝕（反應離子刻蝕）是一種微納加工技術，結合化學反應和物理轟擊實現(xiàn)材料刻蝕。它利用高能離子束轟擊樣品表面，同時引入反應性氣體與樣品發(fā)生化學反應，生成揮發(fā)性產(chǎn)物并被抽走，從而實現(xiàn)材料的精確去除。RIE刻蝕廣泛應用于半導體、微電子、光學等領域，具有刻蝕精度高、邊緣整齊、適用于復雜圖形加工等優(yōu)勢。
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