- 2025-01-10 17:03:54MEMS技術(shù)
- MEMS技術(shù)是微機電系統(tǒng)的簡稱，它利用微細(xì)加工技術(shù)在微小尺度上制造機械和電子元件。該技術(shù)融合了硅基微加工、精密機械、電子學(xué)、光學(xué)、材料科學(xué)、生物化學(xué)等多種學(xué)科，具有體積小、功耗低、集成度高、性能穩(wěn)定可靠等特點。MEMS技術(shù)在傳感器、執(zhí)行器、微系統(tǒng)等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，如加速度傳感器、微陀螺儀、微噴墨打印頭等，對現(xiàn)代科技和工業(yè)發(fā)展具有重要意義。
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